[发明专利]液晶显示元件的制造机台及其平台上异物检查的方法

说明书

技术领域

本发明是有关于一种制造机台以及检查机台内是否具有异物的方 法，且特别是有关于一种用来形成液晶显示元件的配向膜的制造机台， 以及检查制造机台内用以承载基板的平台表面是否具有异物的液晶显 示元件的制造机台及其平台上异物检查的方法。

背景技术

由于液晶显示元件(Liquid Crystal Display，LCD)具有体积薄、 重量轻、耗电量少以及无辐射污染等特性，于近年来日渐广泛使用。其 应用产品包括了小尺寸的携带式资讯产品如个人数位助理(PDA)，一般 尺寸的笔记型电脑或桌上型的液晶显示屏幕。大尺寸的应用产品如30 时～40时的液晶电视等亦逐渐受到重视，而在市场上占有一席之地。

液晶显示元件的结构主要是在一上下电极基板之间夹设液晶层而 成。上电极基板例如是一具有彩色滤光片的基板(CF Substrate)，下电 极基板例如是一具有薄膜晶体管的基板(TFT Substrate)。而上下电极 基板的内侧分别具有一配向膜(Alignment Film)，用来控制液晶分子排 列方向。制作时，可将配向膜材料涂布于基板内侧后，再经过配向处理 例如刷磨(Rubbing)方式，使材料表面的分子不再杂散分布，而是依照 固定而均一的方向排列。现在亦有业者开发以非刷磨式配向技术对配向 膜进行配向处理，例如光配向法(Phot o-alignment)和离子束配向法 (Ion Beam Alignment)等。无论是否经由刷磨方式达到配向，配向膜的 存在使液晶分子无论是在有电场或无电场的情况下都可依照特定的倾 斜方向和预定的倾斜角度排列，因此，配向膜的制作实为控制LCD显示 品质的关键程序之一。

目前业界使用的配向膜材料主要成份为聚亚酰胺(Polyimide，PI) 树脂。PI树脂具有耐热性佳、耐化学溶剂及辐射线、电气绝缘特性佳等 特性，是可以提供LCD稳定显示品质的一种半导体级高分子树脂材料。 一般在实际制作时，先将配向膜材料均匀的涂布至印刷凸版例如液体感 光树脂凸版(日本A sahi公司制造，业界简称APR版)上，再利用印 刷凸版转印至基板上，之后再对具配向膜材料的基板进行处理，例如干 燥、配向和制作显示元件的后续步骤。

作为印刷凸版的APR版价格十分昂贵，在LCD前段制程成本中占有 相当高的比例。根据统计，在配向膜制造机台中使用的APR版，自然劣 化的比例极少，而因外力而报废的比例占绝大多数，其中又以玻璃(基 板材料)破片刺伤占大部分。这种玻璃异物产生的原因可能是进行配向 膜材料转印之前，基板已有裂痕或破损，或是进行转印时基板不当受力 而产生碎裂。由于制造机台中用以承载基板的平台与转印用的APR版之 间的距离十分贴近，如果平台上残留有破片等异物，在平台移动时破片 会粘附在APR版上并造成刺伤或刮伤，此时APR版无法再使用，必须报 废。另外，一但APR版粘附上破片造成刺伤或刮伤，此版必须拆下以清 除破片并再做确认，而机台部分则必须等待另一片APR版清洗并安装后 再重新开线。因此，APR版的损伤不但造成金钱损失，更浪费了许多工 时和人力。

发明内容

本发明有关于一种液晶显示元件的制造机台及其平台上异物检查 的方法，利用反射式感测元件以检查制造机台内用以承载基板的平台表 面是否具有异物，以避免异物损伤制造机台的元件(例如APR版)，进而 减少金钱与时间的损失。

根据本发明的第一方面，提出一种制造机台，用以形成一液晶显示 元件的一配向膜，此机台至少包括一平台、一第一转轮、一第二转轮、 一印刷凸版和一平台感测组件。平台可移动式地承载显示元件的一基 板。第一转轮设置于平台上方处，且第一转轮的表面均匀涂布一配向膜 材料。第二转轮设置于平台上方并位于第一转轮的一侧，印刷凸版设置 于第二转轮的表面，且印刷凸版可与基板的表面接触，且第一转轮可选 择性地与印刷凸版接触或分离。平台感测组件用以检测平台的表面，包 括一感测元件和一反射元件，分别相对应地设置于平台的两侧，其中感 测元件所发射的一光束被反射元件反射后回到感测元件，光束的行进方 向实质上垂直于平台的一移动方向。其中，感测元件所发射的光束例如 是一激光光束。