[发明专利]一种探针塔、晶片测试承座与晶片测试系统

权利要求书

1.一种探针塔，用于晶片测试，包含：

一圆形本体，配置有LCD测试区以及I/O测试区，且该圆形本体具有一本体上座及一本体下座；

多数群探针孔，配置在该LCD测试区及I/O测试区，同时垂直贯穿该本体上座及本体下座；以及

多数群测试探针，配置在该等探针孔内，用以传递通过该圆形本体的测试信号；

其特征在于，

多数群接地孔，配置在该I/O测试区；

多数群接地针，以紧配方式嵌入于该本体上座及本体下座其中之一的多数群接地孔，并电性导通至该圆形本体，用以将邻近的测试探针的噪声及漏电流接地；

多数群间隔环，以绝缘材料制成，配置于该等探针孔的端部，用以固定该等测试探针于该探针孔内，且提供该等测试探针及该圆形本体的电性绝缘。

2.依据权利要求1所述的探针塔，其特征在于，其中该本体上座与该本体下座电性导通及同时嵌入有该等接地针，而该圆形本体为导电材质。

3.依据权利要求1所述的探针塔，其特征在于，其中该LCD测试区与该I/O测试区分布在该圆形本体的四个象限区，而该LCD测试区相对该I/O测试区的分布面积比例为3∶1以及该I/O测试区的该测试探针及该接地针以互相交错方式排列。

4.依据权利要求1所述的探针塔，其特征在于，其中该接地孔为该本体上座的盲孔以及该本体下座的盲孔。

5.依据权利要求1所述的探针塔，其特征在于，其中每一群接地针的数量小于其邻近测试探针的数量。

6.依据权利要求1所述的探针塔，其特征在于，其中该接地针的群数小于该I/O测试区的测试探针的群数，而该多数群接地针的长度短于该本体上座或本体下座的厚度。

7.依据权利要求1所述的探针塔，其特征在于，其中该圆形本体还进一步包含一对盖板装置，分别配置在该本体上座上方及该本体下座的下方，用以挡卡对应的该间隔环。

8.依据权利要求1所述的探针塔，其特征在于，其中该测试探针的外径经由测试探针的阻抗计算而得到。

9.一种具有探针塔的晶片测试承座，至少具有一运动平台、一探针塔与一针测卡，该运动平台提供X-Y-Z三轴的移动用以承载一待测晶片，其中该探针塔包含：

一圆形本体，配置有LCD测试区以及I/O测试区，且该圆形本体具有一本体上座及一本体下座；

多数群探针孔，配置在该LCD测试区及I/O测试区，同时垂直贯穿该本体上座及本体下座；以及

多数群测试探针，配置在该探针孔内，用以传递通过该圆形本体的测试信号；

其特征在于，

多数群接地孔，配置在该I/O测试区；

多数群接地针，以紧配方式嵌入于该本体上座及本体下座其中之一的多数群接地孔，并电性导通至该圆形本体，用以将邻近的测试探针的噪声及漏电流接地；

多数群间隔环，以绝缘材料制成，配置于该探针孔的端部，用以固定该测试探针于该探针孔内，且提供该测试探针及该圆形本体的电性绝缘。

10.一种晶片测试系统，包含：

一晶片测试承座，至少具有一运动平台、一探针塔与一针测卡，该运动平台是提供X-Y-Z三轴的移动用以承载一待测晶片，其中该探针塔包含：

一圆形本体，配置有LCD测试区以及I/O测试区，且该圆形本体具有一本体上座及一本体下座；

多数群探针孔，配置在该LCD测试区及I/O测试区，同时垂直贯穿该本体上座及本体下座；以及

多数群测试探针，配置在该探针孔内，用以传递通过该圆形本体的测试信号；

其特征在于，

多数群接地孔，配置在该I/O测试区；

多数群接地针，以紧配方式嵌入于该本体上座及本体下座其中之一的多数群接地孔，并电性导通至该圆形本体，用以将邻近的测试探针的噪声及漏电流接地；

多数群间隔环，以绝缘材料制成，配置于该探针孔的端部，用以固定该测试探针于该探针孔内，且提供该测试探针及该圆形本体的电性绝缘；

一测试头，用以对应连接至该探针塔；

一控制与运算装置，接收该测试头的测试信号，加以运算统计成晶片的测试结果；以及

一显示装置，将晶片测试结果输出。