[发明专利]静电消除器

说明书

本申请是申请日为2000年2月22日、申请号为00102391.8、发明名称为“静电消除器”的发明专利申请的分案申请。

技术领域

本发明涉及一种静电消除器。

背景技术

在其中处理半导体或进行诸如涂敷、电镀、或蒸发之类的表面处理的工业领域中，消除或除去作为有害物的静电。常规静电消除或除去仪器或工具，在下文称作静电消除器，将在下面解释。

(1)电离器：

电离器电离空气，并且喷出或排出离子。电离器安装到机器上以从工件上消除或除去静电，或者由操作者手持和移动以从工件去除静电。在前一种情况下，把工件放到电离器安装到其上的工作台上，并且使电离器向工件排出离子且从工件去除静电。在后一种情况下，操作者手握电离器，以便把来自电离器的离子引向工件并且从工件去除静电。

(2)腕套：

腕套或导电带系在操作者的手腕上，以从人体去除静电。这仅能从坐在工件放在其上的工作台前的操作者去除静电，而不能从行走的操作者去除静电。实际上，操作者往往来回走动而不带腕套。因此，对于下次操作，操作者会忘记把腕套系在他的手腕上。而且，由电线把腕套连接到接地点的大地上。然而，由于导线经多个接合点连接到腕套上，所以可能引起多种事故。

(3)抗静电衣：

操作者穿上其上不怎么产生静电的衣服以防止静电产生。这种衣服能减少静电产生，但不能除去产生的静电。

(4)导电鞋：

把在操作期间使用的鞋制成导电的。这种鞋把人体上产生的静电传送到导电地板上。在这种情况下，需要导电地板，并且普通地板或非导电地板是无效的。

(5)被动去除静电工具：

(a)环型

环型去除静电工具戴在操作者的手指上以便使用。当电荷积累到高于一个静电电位时，这种工具放出电荷以把电荷排放到空气中，并且然后降低静电电位。然而，由于当电荷降低到一定静电电位以下时去除静电工具的放电停止，所以去除静电工具不能除去低的静电电位。

(b)手表型

手表型去除静电工具戴在操作者的手腕上以便使用。当电荷积累到高于一个静电电位时，这种工具放出电荷以把电荷排放到空气中，并且然后降低静电电位。然而，由于当电荷降低到一个静电电位以下时去除静电工具的放电停止，所以去除静电工具不能除去较低的静电电位。

即使当使用这些去除静电仪器或工具之一时，在如下情况中去除静电也相当困难。例如，当操作者来回走动时，衣服在其间引起摩擦，并且然后产生静电而累积在人体上。如果袜子由导电纤维制成，鞋是导电的，及地板是导电的，则积累的静电能离开人体。然而，由于通常操作者不处在这样的环境中，所以存在要解决的问题。例如，当携带电荷的操作者接触工件时，就电击并且然后损坏工件。对于另一个例子，其上积累电荷的灰尘落到工件上，并且然后引起工件损坏。如上所述，按常规，从行走操作者去除静电的完美方法是不存在的。

而且，当加工例如切削或磨削诸如塑料船体之类的大物体时，使用诸如切削刀具或磨轮之类的气动工具。由于把气源连接到气动工具上的通气软管，通常由其中静电不会离开的绝缘材料制成，所以在机加工期间由摩擦产生的静电通过通气软管积累在人体上。随着静电或电荷积累到一定值，突然引起向地板放电，给操作者一次大电击。在这样一种情况下，由于操作者来回走动，所以没有去除静电的完美方法。

常规电离器包括吹气枪型静电消除器。如图43中所示，常规吹气枪型静电消除器600建造成，吹气枪装有一个电气部分，即电离器的放电电极。吹气枪包括一个经其流动压缩空气的圆柱形枪体602、一根压缩空气经其供给到枪体602的通气软管604、及提供在枪体602的前端处的空气喷嘴606。

吹气枪装有一个放电电极部分608，电极部分608包括一个提供在枪体602与空气喷嘴606之间的圆柱形绝缘体608a、和一个布置在圆柱形绝缘体608a的中心的放电针608b。放电针608b从高压发生器610经一根高压电缆612供有高压。

另一种常规吹气枪型静电消除器建造成，一个高压发生器与枪体整体地布置。

这些常规吹气枪型静电消除器的共同之处在于，一个高压放电电极部分包括在吹气枪部分或结构中。为此，常规吹气枪型静电消除器具有下述缺点。