[发明专利]物品收纳装置

说明书

技术领域

本发明涉及用于对具有形成于底面的多个定位用卡合孔和多个位置修正用卡合孔的物品收纳容器进行收纳的物品收纳装置。

背景技术

作为上述构成的物品收纳装置，现有技术有如下那样构成的物品收纳装置。

即，支承部件输送机构构成为，在沿上下方向循环的环形转动链上按纵列状态隔开间隔地排列多个容器支承部件，使这些容器支承部件绕水平轴心自由转动，而且以维持大致水平姿势的方式支承物品收纳容器并进行循环输送；而且，容器输送机构构成为具备移载装置，该移载装置能够从上方侧对沿支承于建筑物顶棚等的轨道移动自如的移动体以及物品收纳容器进行夹持、进行垂吊支承以及使其上下移动。并且，在使物品收纳容器入库到任意容器支承部件中时，以使应收入物品收纳容器的容器支承部件位于入出库位置的方式，使支承部件输送机构进行循环输送之后，使物品收纳容器支承在由容器输送机构定位于入出库位置的容器支承部件上，在使支承于容器支承部件的物品收纳容器出库时，使支承部件输送机构进行循环输送以便将支承作为出库对象的物品收纳容器的容器支承部件定位在入出库位置上，通过容器输送机构将支承在定位于入出库位置的容器支承部件上的物品收纳容器取出。也就是说，构成为进行入出库作业，由上述容器输送机构相对于定位于上述入出库位置的容器支承部件直接载置或取出物品收纳容器(例如参照日本实开昭60-75309号公报)。

并且，在这样的物品收纳装置设置在例如半导体工厂的场合，对用于收纳半导体基板的物品收纳容器进行收纳，但在这样的收纳半导体基板用的物品收纳容器中，在底面上隔开适当间隔地在多个部位上形成有越靠入口侧宽度越大的多个定位用卡合孔，在支承该物品收纳容器的容器支承部件的载置面上，设有与上述定位用卡合孔卡合的定位用卡合突起，能够将物品收纳容器的水平方向的位置相对于容器支承部件进行高精度的定位(例如参照日本特开2000-223552号)。

在上述现有构成中，上述容器输送机构中的移动体支承用轨道由建筑物的顶棚等支承在固定位置，例如设置在半导体工厂时，上述容器输送机构，还需要相对于实施半导体基板制造用的各种处理的多个处理部的物品输出输入部进行输出输入作业，进行高精度管理，使得上述物品收纳容器相对输送对象部位的输送作用位置始终保持恒定。

相对于此，在将以由支承部件输送机构进行循环输送的状态得到支承的多个容器支承部件输送至入出库位置、由上述容器输送机构相对于容器支承部件入出库输送物品收纳容器时，容器支承部件的位置有时会变成从相对于容器输送机构进行输送用的正确位置稍稍偏移开的状态。例如，该容器支承部件有可能变成相对适于由容器输送机构进行入出库用作业的姿势稍微倾斜的姿势，或者有可能因转动链沿长度方向的延伸而在链长度方向上稍微错位。

并且，在现有技术中，由于如上述那样构成为由上述容器输送机构相对于定位于上述入出库位置的容器支承部件直接载置或取出物品收纳容器，因而存在因位置偏移造成的输送错误等的危险，有可能无法由容器输送机构进行良好的入出库用作业。

另外，关于上述物品收纳装置，为了提高将容器支承部件输送到入出库位置时的位置精度，也考虑了将物品收纳装置的支承部件输送机构的构成形成为能够进行高精度的位置管理，但这样会存在可进行高精度位置管理的构成招致整个设备的成本增高的缺点。因而，期望的是，不但要将按纵列状循环输送多个容器支承部件的支承部件输送机构的构成形成为位置精度比较低且成本低的构成来抑制高成本，而且可良好地由容器输送机构相对于位于入出库位置的容器支承部件进行入出库用的作业。

发明内容

本发明的目的在于提供一种在抑制高成本的同时、可良好地由容器输送机构相对于位于入库位置或出库位置的容器支承部件进行入出库用作业的物品收纳装置。

在一个实施方式中，物品收纳装置以对具有形成于底面的多个定位用卡合孔和多个位置修正用卡合孔的物品收纳容器进行收纳的方式构成，具有：

多个容器支承部件，具备载置面并对上述物品收纳容器进行载置和支承，该载置面具有以与所述多个定位用卡合孔卡合的方式构成的定位用卡合突起；

支承部件输送机构，沿着循环环形路径输送所述多个容器支承部件；

容器输送机构，用来相对于位于入出库位置的所述容器支承部件交接所述物品收纳容器；