[发明专利]半导体集成电路装置和包括该装置的内部功率控制系统

权利要求书

1.一种半导体集成电路装置，包括：

半导体衬底；

振荡器，形成在所述半导体衬底上并用于输出监测时钟信号，所述监测时钟信号具有取决于制造工艺的频率；

内部电路，形成在所述半导体衬底上；

频率比较电路，用于将所述振荡器输出的所述监测时钟信号与具有预定频率的参考时钟信号进行比较，并用于输出与所述监测时钟信号频率和所述参考时钟信号频率之间的差值对应的差分信号；和

内部电源电路，用于为所述内部电路提供与所述频率比较电路输出的所述差分信号对应的内部功率电压。

2.根据权利要求1所述的半导体集成电路装置，其中所述频率比较电路包括：

脉冲疏化电路，用于通过针对包括在所述参考时钟信号内的每n个脉冲稀疏(n-2)个脉冲并维持两个脉冲来输出稀疏时钟信号；

分频电路，用于将所述监测时钟信号分频为其1/n频率，并用于输出分频时钟信号；

差分电路，用于与所述参考时钟信号同步地对所述分频电路输出的分频时钟信号进行差分，并用于输出差分时钟信号；

脉冲数目比较电路，用于将所述脉冲疏化电路输出的所述稀疏时钟信号的脉冲数目与所述差分电路输出的所述差分时钟信号的脉冲数目进行比较，并用于根据得到的差值生成所述差分信号。

3.根据权利要求2所述的半导体集成电路装置，其中所述脉冲数目比较电路包括：

第一计数器，用于对所述稀疏时钟信号的脉冲数目进行计数；

第二计数器，用于对所述差分时钟信号的脉冲数目进行计数；

减法器，用于计算所述第一计数器得到的脉冲数目和所述第二计数器得到的脉冲数目之间的脉冲数目差值；以及

数/模转换器，用于对所述减法器得到的所述脉冲数目差值执行数模转换，以得到所述差分信号。

4.根据权利要求2所述的半导体集成电路装置，其中所述脉冲数目比较电路包括：

第一LC滤波器，用于接收所述稀疏时钟信号；

第二LC滤波器，用于接收所述差分时钟信号；以及

电压比较器，用于比较所述第一LC滤波器的输出电压和所述第二LC滤波器的输出电压，并用于根据所述输出电压之间的差值生成所述差分信号。

5.一种包括半导体集成电路装置的内部功率控制系统：

所述半导体集成电路装置，包括：

半导体衬底；

振荡器，形成在所述半导体衬底上，并用于输出具有取决于制造工艺的频率的监测时钟信号；和

内部电路，形成在所述半导体衬底上；以及

所述内部功率控制系统包括：

频率比较电路，用于将所述振荡器输出的所述监测时钟信号与具有预定频率的参考时钟信号进行比较，并用于输出与所述监测时钟信号频率和所述参考时钟信号频率之间的差值对应的差分信号；和

内部电源电路，用于为所述内部电路提供与所述频率比较电路输出的所述差分信号对应的内部功率电压。