[发明专利]用于数据挖掘的数据加权对象定向的方法和系统

权利要求书

1.一种用于多组数据的数据挖掘的数据加权对象定向的计算机实施的方法，其中每一组数据与多个制造对象中的一个对象相关，包括以下步骤：

使用工具以在所述多个制造对象中的每一个的表面的至少一部分上进行制造工艺，其中所述制造对象中的每一个能够相对于所述工具被随机地定向；

对于所述多个制造对象中的每一个，获得与所述表面的至少一部分的至少一个特性相关的数据组；

在计算机存储器中储存各组数据；

使用计算机代码以产生来自每一组数据的权重分布；

对于每一个权重分布，使用计算机代码确定旋转轴，其中当在所述表面的几何形心处支撑所述表面时，在重力的作用下根据所述权重分布每一个表面将倾向于关于所述旋转轴旋转；

定向每一组数据以便每一个制造对象的所述旋转轴与每一个其它的制造对象的所述旋转轴对准；以及

实施关于所述各组数据的数据挖掘方法。

2.根据权利要求1的计算机实施的方法，其中所述制造对象是半导体晶片。

3.根据权利要求1的计算机实施的方法，其中所述至少一个特性是表面膜厚度。

4.根据权利要求3的计算机实施的方法，其中获得与所述表面的所述至少一个特性相关的所述数据组的所述步骤包括在所述表面上的各预定位置处获得多个表面膜厚度测量的步骤。

5.根据权利要求1的计算机实施的方法，其中所述至少一个特性是表面光洁度。

6.根据权利要求5的计算机实施的方法，其中所述表面具有所述表面光洁度中的至少一个像差，并且通过将非零加权因子指派到所述至少一个像差和将零加权因子指派到不包括像差的所述表面的任何部分来产生权重分布。

7.根据权利要求1的计算机实施的方法，其中实施所述数据挖掘方法的所述步骤包括产生与每一组数据相关的所述表面的至少一部分的图像的步骤。

8.根据权利要求7的计算机实施的方法，其中实施所述数据挖掘方法的所述步骤还包括将与所述多个对象中的每一个相关的所述表面的所述图像重叠为单个的合成图像的步骤。

9.根据权利要求1的计算机实施的方法，其中：

使用计算机程序代码以确定所述旋转轴的所述步骤包括以下步骤：

将所述制造对象中的每一个的所述表面分割为对称栅格，所述对称栅格具有围绕所述几何形心的径向图形的栅格单元并具有多个栅格线，每一个栅格线延伸通过所述几何形心；以及

对于所述多个栅格线中的每一个进行权重平衡计算以确定多个权重不平衡，每一个权重不平衡与栅格线相关，其中与最大的不平衡相关的所述栅格线为所述旋转轴。

10.根据权利要求1的计算机实施的方法，其中：

使用计算机程序代码确定所述旋转轴的所述步骤包括以下步骤：

确定等价于所述权重分布的集中权重的作用的量值和点；以及

确定作为通过所述几何形心的线的所述旋转轴，所述线垂直于连接所述集中权重的作用的所述点与所述几何形心的另一条线。

11.一种用于多组数据的数据挖掘的数据加权对象定向的计算系统，每一组数据与工具所操作的多个制造对象中的一个相关，其中所述制造对象中的每一个能够相对于所述工具以随机的取向被定位，所述计算系统包括：

用于获得所述各组数据的装置，每一组数据与每一个制造对象的表面的至少一部分的至少一个特性相关；以及

操作地耦合到所述装置的数据挖掘引擎，并操作以：

接收和存储所述各组数据；

产生来自每一组数据的权重分布；以及

确定旋转轴，当在所述表面的几何形心处支撑所述表面时，在重力的作用下根据所述权重分布每一个表面将倾向于关于所述旋转轴旋转。

12.根据权利要求11的计算系统，其中所述装置是操作的以获得到所述表面的至少一部分的图像以及所述数据挖掘引擎是进一步操作的以定向所述各组数据以便对准每一个制造对象的所述旋转轴与每一个其它的制造对象的所述旋转轴，并且将所述多个图像重叠为单个的合成图像，其中所述多个图像中的每一个都与所述多个制造对象中的一个对象相关。