[发明专利]多束激光接合机及接合方法

权利要求书

1.一种多束激光接合机，用于将部件间相互间隔一定距离的复数连接介质与对应的部件接合在一起，所述多束激光接合机包括：

发射单束激光的激光束发射单元；及

位于所述单束激光照射路径上的光学器件，所述光学器件将所述单束激光分为复数激光束并将所述复数激光束聚焦在对应的连接介质上。

2.如权利要求1所述的多束激光接合机，其特征是：所述光学器件包括衍射光学元件和一组透镜，所述衍射光学元件位于所述激光束发射单元和所述透镜之间。

3.如权利要求2所述的多束激光接合机，其特征是：所述衍射光学元件为具有台阶状表面的衍射光栅。

4.如权利要求2所述的多束激光接合机，其特征是：所述衍射光学元件为具有复数个不同深度的平行槽的衍射光栅。

5.如权利要求1所述的多束激光接合机，其特征是：所述光学器件从激光束发射单元一侧依次包括柱状透镜、一组透镜和小孔板。

6.一种用于将部件连接至基板的多束激光接合方法，包括：

(1)在所述部件和所述基板之间布置复数个锡球，且布置方式为使所述锡球之间相互间隔一定距离；

(2)提供用于发射单束激光的激光束发射单元；

(3)提供光学器件并将所述光学器件置于所述单束激光的照射路径上，所述光学器件将所述单束激光分为复数激光束且将所述复数激光束聚焦在对应的锡球上；及

(4)所述复数激光束同时照射锡球，使锡球同时熔化，从而使所述部件连接至基板上。

7.如权利要求6所述的多束激光接合方法，其特征是：所述步骤(4)包括先用低能量激光束照射所述锡球，使所述锡球表层熔化从而将所述锡球固定在基板上，然后用高能量激光束照射所述锡球将所述锡球完全熔化。

8.如权利要求6所述的多束激光接合方法，其特征是：所述光学器件包括衍射光学元件和一组透镜，所述衍射光学元件位于所述激光束发射单元和所述透镜之间。

9.如权利要求8所述的多束激光接合方法，其特征是：所述衍射光学元件为具有台阶状表面的衍射光栅。

10.如权利要求8所述的多束激光接合方法，其特征是：所述衍射光学元件为具有复数个不同深度的平行槽的衍射光栅。

11.如权利要求6所述的多束激光接合方法，其特征是：所述光学器件从激光束发射单元一侧依次包括柱状透镜、一组透镜和小孔板。

12.一种用于固化粘附于多组部件和基板之间的环氧胶的多束激光接合方法，包括：

(1)将环氧胶粘附于所述部件和所述部件相应的基板之间；

(2)将所述多组部件和基板相互分离一定距离；

(3)提供用于发射单束激光的激光束发射单元；

(4)提供光学器件并将所述光学器件置于所述单束激光的照射路径上，所述光学器件将所述单束激光分为复数激光束且将所述复数激光束聚焦在对应的部件和基板组上；及

(5)用所述复数激光束同时照射对应的部件和基板组，使粘附于所述部件和基板组之间的环氧胶固化，从而使所述多组部件和基板同时粘接在一起。

13.如权利要求12所述的多束激光接合方法，其特征是：所述光学器件包括衍射光学元件和一组透镜，所述衍射光学元件位于所述激光束发射单元和所述透镜之间。

14.如权利要求13所述的多束激光接合方法，其特征是：所述衍射光学元件为具有台阶状表面的衍射光栅。

15.如权利要求13所述的多束激光接合方法，其特征是：所述衍射光学元件为具有复数个不同深度的平行槽的衍射光栅。

16.如权利要求12所述的多束激光接合方法，其特征是：所述光学器件从激光束发射单元一侧依次包括柱状透镜、一组透镜和小孔板。