[发明专利]多孔质玻璃母材的制造装置

说明书

技术领域

本申请案主张2006年11月22日申请的日本专利申请案第2006-316025号的优先权，且将所述申请案的内容以引用的方式并入本文中。

本发明关于一种多孔质玻璃母材制造装置，通过使用此装置，即使在制造大型的多孔质玻璃母材时，透明玻璃化过程中气泡及杂质的产生量也较少。

背景技术

作为光纤(fiber)母材的制造方法，众所周知的是VAD(Vapor AxialDeposition；汽相轴向沉积法)法。此方法中，起始构件安装在一边旋转一边上升的轴(shaft)上，且在反应室内垂下，通过将设置在反应室内的纤芯(core)沉积用燃烧器(burner)和纤壳(clad)沉积用燃烧器所生成的玻璃(glass)微粒子沉积在起始构件前端，从而制造出包含纤芯层和纤壳层的多孔质玻璃母材(以下，简称作多孔质母材)。

因为所生成的玻璃微粒子的沉积效率并不是100％，所以在制造期间产生未沉积的未附着的剩余的玻璃微粒子。此剩余的玻璃微粒子中的大部分，和排出气体等其他气体一起从排气口排出到反应室外。

然而，从燃烧器内生成至排出的期间，其有一部分附着在反应室的顶部及侧壁。附着在此反应室内壁的玻璃微粒子剥离、落下，在反应室内飞散，附着在制造过程中的多孔质母材上，导致透明玻璃化过程中光纤母材中产生气泡及杂质。

近年来，要求降低制造成本(cost)，且谋求光纤母材的大型化。随着此光纤母材的大型化，原料投入量增加，即使沉积效率无变化，也会增加未附着的玻璃微粒子的绝对量。因此，无法避免附着在反应室内壁的玻璃微粒子剥离、落下的频率的上升。

为了解决所述问题，提出了下述方法：积极地向反应室内导入空气，使反应室内的气流成为整流，随着此流体，将剩余玻璃微粒子排出到反应室外。

专利文献1中，在设置于燃烧器两边的供气口设置过滤器(filter)，从该供气口将清洁空气强制性地导入到反应室内，这样形成整流。

并且，专利文献2中，向反应室前室供给吹风机(blower)的空气，通过设置在反应室内的过滤器，向反应室后室供给清洁空气，这样，形成整流。

【专利文献1】日本专利特开2000-109328号公报

【专利文献2】日本专利特开2004-161506号公报

发明内容

然而，所述方法会有下述问题产生：因为在燃烧器附近设有过滤器，所以由于热而加剧了过滤器的劣化，一部分成为粒子(particle)在反应室内飞散，导致透明玻璃化过程中在光纤母材中产生杂质。并且，反应室内的剩余玻璃微粒子附着在过滤器上，这些微粒子再次飞散，从而产生气泡。

因此，本发明的目的在于提供一种多孔质母材的制造装置，其利用VAD法而制造多孔质母材，且即使在制造大型多孔质玻璃母材时，也可获得气泡及杂质的产生量较少的多孔质玻璃母材。

于是，在本说明书所包含的技术革新的一个观点，其目的在于提供可以解决所述课题的多孔质玻璃母材的制造装置。此目的可以由权利要求范围中的独立权利要求记载的特征的组合来达成。而且从属权利要求限定了本发明更有利的具体实例。

亦即，根据本说明书所包含的技术革新的一个观点的多孔质玻璃母材的制造装置的一个实例，其是使玻璃微粒子沉积而制造多孔质玻璃母材的装置。此多孔质玻璃母材的制造装置具备反应室以及空气分配容器。反应室具备供气口。空气分配容器具备排气口，并将清洁空气从排气口排出至供气口。

所述空气分配容器可以具备突起状形状部，此突起状形状部是由对应于所述供气口的形状所形成的多个面而构成，使从导管所供给的清洁空气冲击此突起状形状部，而将清洁空气分配到排气口。所述反应室和所述空气分配容器可以利用滑轨和辊子而以可分离的方式构成。

所述空气分配容器可以利用密封衬垫而安装在所述排气口与所述反应室的所述供气口之间。所述空气分配容器可以利用阻力赋予构件而安装在所述排气口与所述反应室的所述供气口之间。

所述阻力赋予构件可以具有网眼结构。所述制造装置可以通过选择所述阻力赋予构件的网眼大小，来调整提供给所述各供气口的风量。

所述阻力赋予构件可以具有打孔且形成穿孔的打孔结构。所述制造装置可以通过选择所述阻力赋予构件的所述打孔结构的间隔以及大小，来调整提供给所述各供气口的风量。

上述所列举的本发明之概要，并不是完整的列举出本发明的所有必要特征，这些特征群的次组合可以构成再发明。

附图说明

图1是表示本发明的制造装置概略的纵向剖面图。