[发明专利]热回收装置

说明书

技术领域

本发明涉及一种回收高温气体的热量来加热低温气体的热回收装置。 

背景技术

在制造液晶显示面板等的过程中会使用烧成炉。烧成炉中，往往从工件蒸发的气体中会含有有机物的蒸气。该蒸气可能会对工件产生不良影响。因此，须在烧成炉进行炉内换气。可是换气会使烧成炉的内部温度降低。因此，需要在来自炉内的排气和送入炉内的吸气之间进行热交换。 

现已公知有上述这种回收高温气体的热量来加热低温气体的装置(例如，参照日本发明专利公开公报特开2002-191920，日本专利公开公报特开2001-154739，以及日本专利公开公报特开2002-200473)。 

但是，人们期望能提高回收高温气体的热量来加热低温气体的热回收装置的热回收效率。此外，还期望能够控制该热回收装置的制造成本。 

发明内容

本发明的目的在于提供一种热回收装置，该热回收装置与现有的热回收装置相比，可提高热回收效率，抑制制造成本。 

本发明的热回收装置具有：高温腔室，其设置在高温气体通路中；低温腔室，其设置在低温气体通路中；副预热室，其设置于上述低温气体通路中，位于上述低温腔室的前段；主预热室，其设置于上述低温气体通路中，位于上述副预热室的前段；热交换单元，其在上述高 温腔室内部的吸热区域吸热，而在上述低温腔室内部的放热区域放热，上述高温腔室设置在上述主预热室的内部，上述低温腔室设置在上述副预热室的内部。主预热室设置于低温气体通路上的散热区域的前段，使低温气体吸收泄漏热。泄漏热是指从高温气体通路所泄漏出的热量。 

因此，热交换单元将热量从高温气体回收至低温气体。并且，主预热室将高温气体所泄漏的热量回收至低温气体。由此，可提高热回收装置的热回收效率。而且，无须对高温气体通路作隔热处理。因此，可减少在热回收装置所设置的隔热材料，降低了制造成本。 

采用该热回收装置，在对被有机物的蒸气污染的高温气体进行换气时，优选在热回收装置上具备净化部。净化部设置于上述高温腔室内部，并且位于吸热区域的前段，使高温气体中所含有的有机物成分分解。主预热室使低温气体吸收从净化部的外壁泄漏的热量。 

热回收装置还可具有鼓风机部。鼓风机部设置于高温腔室内部的吸热区域的后段，并且位于高温气体通路中的排气口的前段，调整高温气体的流体压力。 

采用本发明，热回收装置可回收从高温气体通路中泄漏的热量，与现有的热回收装置相比可提高热回收效率。因此，可减少隔热材料等，降低了制造成本。 

附图说明

图1是表示热回收装置的一例的侧剖视图。 

图2是表示该热回收装置的热交换单元一例的立体图。 

具体实施方式

以下，参照附图说明热回收装置的结构例。这里的热回收装置用于液晶显示面板的制造过程中所使用的多级烧成炉的换气。来自多级烧成炉的废气中含有由黏合剂等蒸发产生的有机物成分。热回收装置将该废气排出至炉外，将新鲜空气吸入烧成炉中。 

图1是热回收装置的侧剖视图。图中表示的是固定配置式的热回收装置100。另外，也可在热回收装置100的底面上设置移动辊子等，使热回收装置100可动。 

热回收装置100具有外壳体1。外壳体1内部划分为控制室11、主预热室12和副预热室13。控制室11内装有控制部6。主预热室12内装有高温腔室2和换气鼓风机5。副预热室13内装有低温腔室3。在外壳体1的构成主预热室12的壁面上设置有高温气体进气口16、高温气体排气口17和低温气体进气口18。在外壳体1的构成副预热室13的壁面上设置有低温气体排气口19。在主预热室12和副预热室13之间设置有障壁14。在障壁14上设置有用于使主预热室12和副预热室13之间通气的通气口15。 

控制室11与主预热室12、副预热室13相隔离。此外，控制室11由未图示的隔热材料包围。因此，可抑制从主预热室12和副预热室13向控制室11的热传导。控制部6控制换气鼓风机5，以维持热回收装置100的换气能力。此外，控制部6以报警音或报警显示的形式向管理者报告热回收装置100的换气能力下降的情况。