[发明专利]包括低温多晶硅薄膜晶体管的影像显示系统及其制造方法

权利要求书

1.影像显示系统，包括：

低温多晶硅薄膜晶体管，包括：

基板；

有源层，覆盖该基板；

栅极绝缘层，覆盖该有源层；

介电层，包括第一延伸部分、第二延伸部分、以及分别连接该第一、第二延伸部分的第一中心部分，且覆盖该栅极绝缘层；以及

栅极电极，覆盖该介电层的第一中心部分。

2.如权利要求1所述的影像显示系统，更包括：

保护层，覆盖该栅极电极，且包括第三延伸部分、第四延伸部分、以及分别连接该第三、第四延伸部分的第二中心部分，其中该第三、第四延伸部分与该栅极绝缘层接触，且该第二中心部分覆盖该栅极电极。

3.如权利要求1或2所述的影像显示系统，其中该第一、第二延伸部分未被该栅极电极所覆盖，且其中该第一、第二延伸部分的长度皆超过0.5微米。

4.如权利要求2所述的影像显示系统，其中该第三、第四延伸部分的长度皆超过0.5微米。

5.如权利要求1或2所述的影像显示系统，更包括：

显示面板，包括该低温多晶硅薄膜晶体管；

控制器，与该显示面板耦接，且动作后用于控制该显示面板根据输入信号显示影像。

6.如权利要求5所述的影像显示系统，其中该系统包括电子元件，且该电子元件包括该显示面板。

7.如权利要求6所述的影像显示系统，其中该电子元件为膝上型计算机、行动电话、数字相机、个人数字助理、桌上型计算机、电视、车上显示器或可携式数字多功能光盘播放机。

8.如权利要求2所述的影像显示系统，其中该介电层包括氮化硅或氮氧化硅；该保护层包括氮化硅或氮氧化硅。

9.一种影像显示系统的制造方法，包括：

提供低温多晶硅薄膜晶体管，包括：

提供基板；

形成有源层于该基板上方；

形成栅极绝缘层于该有源层上方；

形成介电层于该栅极绝缘层上方，该介电层包括第一延伸部分、第二延伸部分、以及分别连接该第一、第二延伸部分的中心部分；以及

形成栅极电极于该介电层的中心部分上方；以及

对该低温多晶硅薄膜晶体管进行高压退火处理。

10.如权利要求9所述的影像显示系统的制造方法，包括：

形成保护层于该栅极电极上方，该保护层包括第三延伸部分、第四延伸部分、以及分别连接该第三、第四延伸部分的第二中心部分，其中该第三、第四延伸部分与该栅极绝缘层接触，且该第二中心部分覆盖该栅极电极。