[发明专利]多方向投影式莫尔干涉仪以及使用该干涉仪的检查方法

权利要求书

1.一种多方向投影式莫尔干涉仪，其特征在于，包括：

X-Y工作台(10)，通过多个工作台移送机构可移动地设置以使检查对 象物(1)在X、Y方向移动；

成像部(110)，设置在所述X-Y工作台(10)的上侧，对由位于X-Y工 作台(10)上的检查对象物(1)反射的图形影像进行拍摄；

第1旋转镜部和第2旋转镜部，第1旋转镜部设置在所述成像部的 一侧，第2旋转镜部设置在所述成像部的另一侧，第1旋转镜部包括设 置为在垂直方向上多层排列且彼此对着的第1旋转镜及第2旋转镜，以 接收图形照明、使图形照明的光路改变并投射所述图形照明，第2旋转 镜部包括设置为在垂直方向多层排列且彼此对着的第3旋转镜及第4旋 转镜，以接收图形照明、使图形照明的光路改变并投射所述图形照明， 第1旋转镜低于第2旋转镜，第3旋转镜低于第4旋转镜；

第1固定镜部及第2固定镜部，所述第1固定镜部设置在所述第1 旋转镜部的一侧，所述第2固定镜部设置在所述第2旋转镜部的另一侧， 将第1及第2旋转镜部投射的图形照明向检查对象物(1)投射；以及

第1图形照明产生部(180)，被设置成将图形照明投射到所述第1及 第2旋转镜部，

其中，所述第1图形照明产生部(180)包括：光栅板(183)；第1到第 4光栅元件(182a，182b，182c，182d)，设置在所述光栅板(183)上，用于将 所述图形照明分别投射到所述第1及第2旋转镜部；光栅板移送机构 (184)，设置在所述光栅板的一侧表面上，以在垂直方向上移送第1至第 4光栅元件，从而在垂直方向上移送光栅板。

2.根据权利要求1所述的多方向投影式莫尔干涉仪，其中，所述成 像部(110)包括：

拍摄图形影像的照相机(111)；以及

成像透镜(112)，设置在所述照相机(111)的下侧并对由检查对象物(1) 反射的图像影像进行成像，其中，所述照相机(111)采用CCD照相机或 CMOS照相机中的任意一种。

3.根据权利要求1所述的多方向投影式莫尔干涉仪，其中，所述成 像部(110)还具有产生用于对检查对象物(1)进行二维检查的照明的照明源 (114)，所述照明源(114)采用多个发光二极管或圆顶状的多层圆形灯中的 任意一种。

4.根据权利要求2所述的多方向投影式莫尔干涉仪，还包括：

第1滤光器(141)、第2滤光器(151)、第3滤光器(161)和第4滤光器 (171)，分别接收从所述第1到第4旋转镜投射的图形照明并进行滤光且 投射；以及

其中，所述第1滤光器(141)、第2滤光器(151)、第3滤光器(161)和 第4滤光器(171)分别采用频率滤光器、滤色器、偏光滤光器及光强度调 节滤光器中的任意一种。

5.根据权利要求1所述的多方向投影式莫尔干涉仪，其中，所述第 1图形照明产生部(180)还包括：

产生照明的第1到第4照明源(181a，181b，181c，181d)；

其中，所述第1到第4光栅元件(182a，182b，182c，182d)设置在所述 第1到第4照明源(181a，181b，181c，181d)的一侧，分别用于当第1到第4 照明源(181a，181b，181c，181d)产生所述照明时产生图形照明并投射所产 生的图形照明。

6.根据权利要求5所述的多方向投影式莫尔干涉仪，其中，所述光 栅板移送机构(184)包括：

LM导向器(184a)，设置在所述光栅板(183)上；

LM轨道(184b)，引导所述LM导向器(184a)；

LM移送机构(184c)，沿着所述LM轨道(184b)移送以驱动所述LM 导向器(184a)来移送所述光栅板(183)，其中，

所述LM移送机构(184c)采用滚珠丝杠、直线马达及PZT移送机构 中的任意一种。