[发明专利]致动器及其制造方法

权利要求书

1.一种致动器，其包含：

支撑衬底；

隔离器，其设置在支撑衬底上；

第一支撑部分，每个第一支撑部分通过隔离器被固定在支撑衬底上；

第一主体部分，其相对于第一支撑部分是可旋转的，每个第一主体部分具有可移动的电极；

第二主体部分，其相对于第一主体部分是可旋转的；

第一弹性连接部分，用于以第一主体部分相对于第一支撑部分是可以旋转的方式分别使第一支撑部分和第一主体部分互连；

第二弹性连接部分，用于以第二主体部分相对于第一主体部分是可以旋转的方式使第一主体部分和第二主体部分互连；

至少一个第二支撑部分，其通过隔离器被固定在支撑衬底上；

固定部分，其在隔离器没有干涉的条件下固定于支撑衬底上；

固定式梳状电极，其是与固定部分作为一个整体形成的或是分别连接到固定部分，并且以彼此间隔开的关系与相应的活动式梳状电极啮合；和

桥接部分，用于直接或间接地连接固定部分到第二支撑部分，

其中固定部分以固定部分相对于第二支撑部分向支撑衬底偏转、同时使桥接部分弯曲的状态被固定于支撑衬底，由此初始偏移固定式梳状电极，以使其在支撑衬底的厚度方向上与活动式梳状电极不成直线，

其中通过将交流电压施加至活动式梳状电极和固定式梳状电极之间而使第一主体部分旋转，并且第二主体部分响应第一主体部分的旋转而旋转。

2.如权利要求1所述的致动器，其中第一支撑部分、第一主体部分、第二主体部分、第一弹性连接部分、第二弹性连接部分、第二支撑部分、固定部分、固定式梳状电极和桥接部分是通过对设置在支撑衬底上的一层形成图案而被形成的。

3.如权利要求1所述的致动器，其中活动式梳状电极是相对于第一主体部分绕其旋转的旋转轴而在每个第一主体部分的相反两侧处以一对的形式被设置的。

4.如权利要求1所述的致动器，其中第二主体部分是具有主表面的板状，并且具有设置在第二主体部分的主表面上的反光部分。

5.如权利要求1所述的致动器，其中固定式梳状电极是以与每个第一主体部分的活动式梳状电极相对应的关系至少以一对的形式被设置的，并且固定式梳状电极对的至少一个是相对于第二支撑部分向支撑衬底而初始偏移的。

6.如权利要求5所述的致动器，其中固定式梳状电极对的一个是相对于第二支撑部分向支撑衬底而初始偏移的。

7.如权利要求6所述的致动器，其中固定式梳状电极对的另一个是相对于第二支撑部分远离支撑衬底而初始偏移的。

8.如权利要求1所述的致动器，其中初始偏移每个固定式梳状电极，以使其相对于支撑衬底的主表面倾斜。

9.如权利要求8所述的致动器，其中每个固定式梳状电极通过连接构件被连接到相应的固定部分，并且桥接部分将固定式梳状电极连接到第二支撑部分，其中初始偏移是通过将固定式梳状电极绕桥接部分与固定式梳状电极的连接点旋转而产生的。

10.如权利要求1所述的致动器，其中固定部分为板状，并且具有多个沿其厚度方向形成的狭缝。

11.一种制造如权利要求1所述的致动器的方法，该方法包括：

制备包括第一层、第二层和第三层的衬底的第一步骤，其中所述第一层、第二层和第三层是以所述的次序以一层在另一层之上而沉积的；

将第一层形成图案以成为对应于第一支撑部分、第一主体部分、第二主体部分、第一弹性连接部分、第二弹性连接部分、第二支撑部分、固定部分、固定式梳状电极和桥接部分的形状的第二步骤；

穿过第三层形成开口的中间步骤；

将第二层形成图案以成为对应于隔离器的形状的第三步骤；和

将第一层对应于固定部分的部分固定于第三层上的第四步骤。

12.如权利要求11所述的方法，该方法还包括在第四步骤之前用清洗流体清洗衬底的步骤，其中通过干燥和去除在第一层对应于固定部分的部分和第三层之间存在的清洗流体，而使第一层对应于固定部分的部分在第四步骤与第三层接触并且固定其上。