[发明专利]有机金属化合物供给装置无效
| 申请号： | 200710193671.4 | 申请日： | 2007-11-23 |
| 公开（公告）号： | CN101240446A | 公开（公告）日： | 2008-08-13 |
| 发明（设计）人： | 安部寿充;井手直行 | 申请（专利权）人： | 住友化学株式会社 |
| 主分类号： | C30B25/14 | 分类号： | C30B25/14 |
| 代理公司： | 中原信达知识产权代理有限责任公司 | 代理人： | 王海川;樊卫民 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 有机 金属 化合物 供给 装置 | ||
【权利要求书】：
1.一种有机金属化合物供给装置，包含：
容器，在室温下向该容器中填充固体有机金属化合物并且供给用于使该有机金属化合物升华的载气；
支持板，其能够保持在该容器的下部负载于惰性载体上的有机金属化合物、并且能够使载气通过其中；
在该容器上部设置的载气导入口；和
在作为该容器底部的该支持板下方设置的载气导出口，其中
载气从上方向下方通过在支持板上加载的惰性载体上负载的该有机金属化合物。
2.根据权利要求1所述的有机金属化合物供给装置，其中
所述支持板为孔尺寸约1至约5mm的不锈钢线网。
3.根据权利要求1所述的有机金属化合物供给装置，其中
所述有机金属化合物为三甲基铟。
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