[发明专利]X射线荧光分析的检测装置以及检测方法

权利要求书

1.一种X射线荧光分析的检测装置，用以分析一样品中微量的氯，其特征在于，该检测装置进一步包含：

一高压产生器，接收来自外部的电流以产生高压电流；

一电压控制器，将所述的高压产生器所生的高压电流，控制为5千伏至15千伏的范围间的操作电压；

一光管，受所述的电压控制器所产生的操作电压的电流所激发，而射出一X射线；

一滤波器，过滤所述的光管所射出的X射线以滤去0.3千电子伏特至4千电子伏特范围间的噪声，并将过滤后的X射线照射所述的样品，使该样品受所述的X射线激发后释出一荧光；

一检测器，接收所述的荧光，以形成一检量信号；以及

一运算处理单元，根据所述的检量信号以比对一检量样本，通过比对的结果以运算出微量氯的含量。

2.如权利要求1所述的检测装置，其特征在于，所述的检量信号为一能谱强度。

3.如权利要求2所述的检测装置，其特征在于，所述微量氯的含量，为氯的浓度单位。

4.如权利要求3所述的检测装置，其特征在于，所述的检量样本为一检量线样本，该检量线样本为所述的能谱强度与所述的浓度单位的线性关系。

5.如权利要求4所述的检测装置，其特征在于，所述的检量线样本取样二已知且不同浓度单位的标准样品，做出所述的检量线样本，后续根据所测得的能谱强度，即能自所述的检量线样本换算出应有的浓度单位。

6.如权利要求1所述的检测装置，其特征在于，所述的滤波器中包含一铝板，所述的光管所射出的X射线穿过所述的铝板以滤去噪声，该铝板的厚度在0.09mm至0.11mm的范围间。

7.一种X射线荧光分析的检测方法，用以分析一样品中微量的氯，其特征在于，该检测方法包含下列步骤：

接收来自外部的电流以产生高压电流；

将该高压电流控制为5千伏至15千伏的范围间的操作电压；

受所述的操作电压的电流所激发，射出一X射线；

过滤所射出的X射线以滤去0.3千电子伏特至4千电子伏特范围间的噪声；

将过滤后的X射线照射所述的样品，使该样品受该X射线激发后释出一荧光；

接收所述的荧光以形成一检量信号；以及

根据所述的检量信号以比对一检量样本，通过比对的结果以运算出微量氯的含量。

8.如权利要求7所述的检测方法，其特征在于，所述的检量信号为一能谱强度。

9.如权利要求8所述的检测方法，其特征在于，所述微量氯的含量，为氯的浓度单位。

10.如权利要求9所述的检测方法，其特征在于，所述的检量样本为一检量线样本，所述的检量线样本为所述的能谱强度与浓度单位的线性关系。

11.如权利要求10所述的检测方法，其特征在于，所述的检测方法进一步包含下列步骤，取样二已知且不同浓度单位的标准样品，做出所述的检量线样本，后续根据所测得的能谱强度，即能自所述的检量线样本换算出应有的浓度单位。

12.如权利要求7所述的检测方法，其特征在于，所射出的X射线穿过一铝板以滤去噪声，所述的铝板的厚度在0.09mm至0.11mm的范围间。