[发明专利]衍射光栅元件

权利要求书

1.一种衍射光栅元件，包括：

具有基本上互相平行的第一表面和第二表面的透明平板；以及

相对于第二表面在第一表面侧上形成的并且基本上与第一表面平行的衍射光栅；

其中，在-20℃至+80℃的温度范围内的任意温度下，衍射光栅单位长度周期对温度变化的变化率与包围此衍射光栅元件的媒质的折射率的温度系数的和为0。

2.如权利要求1所述的衍射光栅元件，其中衍射光栅是在第一表面上形成的。

3.如权利要求1所述的衍射光栅元件，其中衍射光栅是由第一表面支持的。

4.如权利要求1所述的衍射光栅元件，其中衍射光栅是在透明平板中形成的。

5.如权利要求1所述的衍射光栅元件，其中透明平板是由添加了杂质的硅玻璃制作的。

6.如权利要求5所述的衍射光栅元件，其中杂质是Ge、P和B中的任意一种元素。

7.如权利要求1所述的衍射光栅元件，其中透明平板是由添加了杂质的硅玻璃或结晶玻璃制作的。

8.如权利要求7所述的衍射光栅元件，其中杂质是元素Ti。

9.如权利要求1所述的衍射光栅元件，其中透明平板是将具有不同的线膨胀系数的多种光学玻璃层叠而组成的。

10.如权利要求9所述的衍射光栅元件，其中形成衍射光栅的透明平板部分是由硅玻璃制作的。

11.如权利要求9所述的衍射光栅元件，其中材料在透明平板的厚度方向上的分布是对称的。

12.如权利要求11所述的衍射光栅元件，其中衍射光栅是在透明平板的厚度方向上在中心处形成的。

13.如权利要求1所述的衍射光栅元件，其中透明平板是由在厚度方向上以不同的浓度添加杂质的硅玻璃形成的。

14.如权利要求13所述的衍射光栅元件，其中杂质是Ge、P和B中的任意一种元素。

15.如权利要求13所述的衍射光栅元件，其中形成衍射光栅的透明平板部分是由硅玻璃制作的。

16.如权利要求13所述的衍射光栅元件，其中材料在透明平板的厚度方向上的分布是对称的。

17.如权利要求16所述的衍射光栅元件，其中衍射光栅是在透明平板的厚度方向上在中心处形成的。

18.如权利要求1所述的衍射光栅元件，其中衍射效率基本上是偏振不相关的。

19.如权利要求1所述的衍射光栅元件，其中：

媒质是空气；并且

衍射光栅单位长度周期对温度变化的变化率为0.63×10^-6/K至1.23×10^-6/K。

20.一种衍射光栅元件，包括：

具有基本上互相平行的第一表面和第二表面的透明平板；以及

相对于第二表面在第一表面侧上形成并且基本上与第一表面平行的衍射光栅；

其中：

所述衍射光栅元件置于空气中；并且

衍射光栅单位长度周期对温度变化的变化率为0.65×10^-6/K至1.11×10^-6/K。

21.如权利要求20所述的衍射光栅元件，其中衍射光栅是在第一表面上形成的。

22.如权利要求20所述的衍射光栅元件，其中衍射光栅是由第一表面支持的。

23.如权利要求20所述的衍射光栅元件，其中衍射光栅是在透明平板中形成的。

24.如权利要求20所述的衍射光栅元件，其中透明平板是由添加了杂质的硅玻璃制作的。

25.如权利要求24所述的衍射光栅元件，其中杂质是Ge、P和B中的任意一种元素。

26.如权利要求20所述的衍射光栅元件，其中透明平板是将具有不同的线膨胀系数的多种光学玻璃层叠而组成的。

27.如权利要求26所述的衍射光栅元件，其中形成衍射光栅的透明平板部分是由硅玻璃制作的。