[发明专利]用于加热衬底的方法和装置

权利要求书

1.一种衬底加热器，包括：

具有上部构件的容器，该容器包括用于支撑其上的衬底的顶表面；

液体，将其设置在所述容器中并部分地注入所述容器；以及

热源，用于为所述液体提供足够的热以使所述液体沸腾。

2.根据权利要求1所述的加热器，其特征在于，所述容器包含铜、铝或陶瓷制品中的至少一个。

3.根据权利要求1所述的加热器，其特征在于，所述液体包括水、汞、全氟碳油、芳香烃油、联苯基联苯氧化物油混合物，或银中的至少一种。

4.根据权利要求1所述加热器，其特征在于，所述热源包括电阻加热器、辐射接收器，以及加热灯中的至少一种。

5.根据权利要求1所述加热器，其特征在于，所述上部构件进一步包括相对所述顶表面并与其充分平行的内部表面，将该内部表面配置为在工艺中收集来自所述液体的冷凝物。

6.根据权利要求5所述的加热器，其特征在于，所述上部构件的所述内部表面具有在约0.1mm至约5mm之间的表面粗糙度。

7.根据权利要求5所述的加热器，其特征在于，所述上部构件的所述内部表面是多孔的。

8.根据权利要求5所述的加热器，其特征在于，所述上部构件进一步包括具有变化的热传导率的区域。

9.根据权利要求8所述的加热器，其特征在于，变化的热传导率的区域是由至少一个所述上部构件的所述内部表面的具有变化粗糙度的区域或具有变化的多孔的区域限定的。

10.根据权利要求8所述的加热器，其特征在于，所述具有变化的热传导率的区域是由包括上部构件的具有变化的材料的上部构件区域的具有变化的厚度分布的区域限定的。

11.根据权利要求1所述的加热器，其特征在于，进一步包括：

用于调节所述容器中的压力的压力控制器或与所述容器相耦合的压力阀中的至少一个。

12.根据权利要求1所述的加热器，其特征在于，进一步包括：

用于控制设置于所述容器中的所述液体的能-相的能相控制器。

13.根据权利要求1所述的加热器，其特征在于，进一步包括：

设置于所述容器中的气体。

14.根据权利要求13所述的加热器，其特征在于，所述气体包括氦、氩、氖、氦、氙、氮、或空气中的至少一种。

15.一种用于加热衬底的系统，包括：

容器，其具有用于支撑其上的衬底的支撑表面；

液体，在其临界点以下的温度将其设置在所述容器中；

能相控制器，其用于控制设置于所述容器中的所述液体的能相；以及

受控温度缓冲区，其用于通过所述容器将热传导给所述支撑表面，所述受控温度缓冲区部分由面向所述容器的内部的所述支撑表面的内部表面限定，其中，所述液体将根据进入和离开所述受控温度缓冲区而改变能相。

16.根据权利要求15所述的系统，其特征在于，所述液体的所述能相根据进入所述受控温度缓冲区，从气体变换为液体。

17.根据权利要求15所述的系统，其特征在于，所述能相控制器控制所述容器中的温度或压力的至少一项。

18.根据权利要求15所述的系统，其特征在于，所述液体包括水、汞、全氟碳油、芳香烃油、联苯基联苯氧化物油混合物，或银，中的至少一种。

19.根据权利要求18所述的系统，其特征在于，进一步包括：

设置于所述容器中的气体。

20.根据权利要求15所述的系统，其特征在于，进一步包括设置为给所述液体提供热的热源。

21.根据权利要求15所述的系统，其特征在于，其中所述支撑表面进一步包括升降杆。

22.根据权利要求15所述的系统，其特征在于，进一步包括设置在所述支撑表面之下的真空吸盘或静电夹盘中的至少一个。