[发明专利]一种静电压表校正总成、其制作方法与其校正方法

说明书

技术领域

本发明涉及一种静电压表的校正总成、其制作方法与其校正方法，特别指一种具有粗调与微调的结构可精确校正静电压表的静电压表校正总成。

背景技术

在目前半导体产业中，静电防护主要执行目的为以下四点：

(1)增加生产量(Increased Yields)：因若静电防护不佳，很可能在生产半导体组件过程中因静电的影响，而导致组件的破坏。而且每一制程过程中，皆有静电破坏影响的可能。因此合适的静电防护，可增加生产量。

(2)节省成本(Cost Saying)：因半导体组件的制程良率较高，相对的制程成本可降低。因此合适的静电防护，可节省成本。

(3)产品可靠性较佳(Better Product Reliability)：在半导体组件封装前，必须避免组件受静电破坏的可能。因此合适的静电防护，可使产品的可靠性较佳。

(4)产品寿命较长(Extended Usage Life)：因静电量会累积，若于制程过程中可避免静电量的累积于半导体组件上，可使得未来半导体组件的产品寿命较长。因此合适的静电防护，可使产品的寿命较长。

因此，静电防护的重要性不言而喻。而静电防护主要透过量测机台的静电量以进行机台的防护。其中，静电量的量测主要是透过静电压表进行量测。而传统静电压表的校正方式，仅是透过简单手动校正方式进行校正，并无较准确的校正方式以校正静电压表。若校正的准确度较低，可能因为静电压表量测不准确，导致制程机器的静电量持续累积，最后可能会导致所制作出的半导体组件因静电量太大，而导致组件的破坏。然而准确的静电压表的校正结构与校正方法，为半导体组件的自动化测试设备中不可或缺的。所以如何提供一种准确的静电压表的校正结构与校正方法，乃为产业界的一迫切课题。

发明内容

为了解决上述问题，本发明主要提出一种用于静电测试的静电压测器校正总成，用于准确地校正静电压测器。此静电压测器校正总成特征在于此校正总成具有高压板，设置在该卡持部行进方向的前端，具有一输入端以输入一高电压，提供符合该静电压表的校正规范。此校正总成具有第一滑轨部，装设于该底板上，具有至少一第一轨道贯穿该卡持部的本体，使得该卡持部朝向或远离该高压板滑动，进行静电压测器校正位置的粗调。此校正总成具有第二滑轨部，设置于该卡持部的本体，具有至少一第二轨道贯穿于该夹爪部，使该夹爪部与该本体可产生相对运动，进行静电压测器校正位置的细调。此校正总成具有标尺部，设置在该卡持部的一侧，具有一刻度尺、一定位螺栓与一刻度指示器，其中该刻度尺上具有数字刻痕，而该定位螺栓用以将该卡持部固定在第一滑轨部的适当位置，该刻度指示器，用以标示该卡持部与该高压板的距离。此校正总成具有微调部，设于该卡持部的本体后端，用以微量调整该夹爪部与该本体的距离。通过此，使得此种具有高压板、滑轨部、标尺部及微调部的校正总成较传统校正方式具有较准确的特性，且使得静电压量测可更为准确。

因而本发明的主要目的在于提供一种用于静电测试的静电压测器校正总成，具有微调部可较精确校正静电压表的静电压表校正总成。

本发明的次要目的在于提供一种用于静电压表的校正总成的制作方法，具有微调部可较精确校正静电压表的静电压表校正总成。

本发明的再一目的在于提供一种静电压表的校正方法，可较精确校正静电压表的静电压表校正总成。

据此，本发明提供一种用于静电压表的校正总成，包含：一底板；一卡持部，用于承载及卡持一静电压表，卡持部包含一本体与一夹爪部；一高压板，设置在卡持部行进方向的前端，具有一输入端以输入一高电压，提供符合静电压表的校正规范；一第一滑轨部，装设于底板上，具有至少一第一轨道贯穿卡持部的本体，使得卡持部朝向或远离高压板滑动；一标尺部，设置在卡持部的一侧，具有一刻度尺、一定位螺栓与一刻度指示器，其中刻度尺上具有数字刻痕，而定位螺栓用以将卡持部固定在第一滑轨部的适当位置，刻度指示器，用以标示卡持部与高压板的距离；一第二滑轨部，设置于卡持部的本体，具有至少一第二轨道贯穿于夹爪部，使夹爪部与本体可产生相对运动；以及一微调部，设于卡持部的本体后端，用以微量调整夹爪部与本体的距离。