[发明专利]感光性层叠体的制造装置及制造方法

说明书

技术领域

本发明涉及感光性层叠体的制造装置及制造方法，将基板和在支承体上设置感光材料层而成的长条状感光性膜输出到一对压接辊间，并将所述感光材料层贴附到所述基板上，由此制造感光性层叠体。

背景技术

例如，在液晶面板用基板、印刷配线用基板、PDP用基板中，将具有感光性树脂层(感光材料层)的感光性片体(感光性膜(感光性ウエブ))贴附到基板表面而构成。感光性片体是将感光性树脂层和保护薄膜顺次在挠性塑料支承体上层叠而成的。

这种感光性片体的贴附所使用的制造装置通常采用如下方式，即，将玻璃基板或树脂基板等基板每隔规定间隔分开输送，并且对应贴附于所述基板上的感光性树脂层的范围，将保护薄膜从所述感光性片体剥离。

例如特开平11-34280号公报中公开的制造装置中，如图9所示，从薄膜辊1输出的层叠体薄膜(感光性片体)1a被卷绕在导辊2a、2b上而沿水平的薄膜输送面延伸。在该导辊2b上安装有输出与层叠体薄膜1a的输送量对应的数量的脉冲信号的回转式编码器3。

沿水平的薄膜输送面延伸的层叠体薄膜1a卷绕在吸水辊4上，并且在所述导辊2b和所述吸水辊4之间设有半切割装置5和覆膜剥离装置6。

半切割装置5具备沿层叠体薄膜1a的输送方向隔开规定间隔的一对盘形铣刀5a、5b。盘形铣刀5a、5b通过沿层叠体薄膜1a的薄膜宽度方向移动，将所述层叠体薄膜1a的覆膜(未图示)的剥离部分和残留部分这两个部位的边界部分与其背侧的感光性树脂层(未图示)一体切断。

覆膜剥离装置6在将从粘接带辊7输出的粘接带7a于按压辊8a、8b间强力地压接在覆膜的剥离部分后，由卷绕辊9卷绕。由此，覆膜的剥离部分从感光性树脂层剥离，与粘接带7a一起被卷绕在卷绕辊9上。

在吸水辊4的下游，在由基板输送装置10以规定的间隔输送的多个基板11的上面配置有将覆膜被剥离的层叠体薄膜1a的剥离部分重叠压接的一对层压辊12a、12b。在该层压辊12a、12b的下游侧配置有支承薄膜卷绕辊13。贴附于基板11上的透光性支承薄膜(未图示)以在基板11上残留有感光性树脂层的状态与覆膜的残留部分一起被卷绕在支承薄膜卷绕辊13上。

另外，为将覆膜被剥离的层叠体薄膜1a的剥离部分准确地贴附在基板11的所希望的范围，需要以覆膜的剥离部分和残留部分的边界部分为基准，将层叠体薄膜1a高精度地输送到层压辊12a、12b之间。

但是，层叠体薄膜1a是在挠性支承薄膜上形成有感光形树脂层的薄膜，由于其以赋予了张力的状态输送，故所述边界部分的位置可能会因输送中产生的延伸的影响而产生偏差。另外，层压辊12a、12b由于将层叠体薄膜1a和基板11以加热状态贴附，故特别是在层压辊12a、12b附近的层叠体薄膜1a的延伸增大。

该情况下，在层压辊12a、12b间，只要能够检测所述层叠体薄膜1a的所述边界部分的位置，就可以调节其位置而进行高精度的贴附处理。但是，由于层压辊12a、12b阻碍进行检测，故在由层压辊12a、12b夹持着层叠体薄膜1a及基板11的状态下检测边界部分的位置实际上是不可能的。

因此，本申请人提出了如下制造装置(参照特开2006-297889号公报)，在吸水辊4和层压辊12a、12b之间的规定部位配置检测所述边界部分的传感器，并控制距该传感器检测到边界部分的时刻的层叠体薄膜1a的输送量。

该情况下，只要知道所述传感器和所述层压辊12a、12b之间的距离、及其间的层叠体薄膜1a的延伸率，就可以高精度地在层压辊12a、12b间设定边界部分。

但是，所述传感器虽然能够检测边界部分，但不能检测到该边界部分从所希望的位置偏移了何种程度。

发明内容

本发明的一般目的在于，提供一种感光性层叠体的制造装置及制造方法，能够用简易的构成来高精度地检测长条状感光性膜上形成的加工部位相对于基准位置的位置，制造高品质的感光性层叠体。

本发明的主要目的在于，提供一种感光性层叠体的制造装置及制造方法，能够根据检测到的加工部位的位置来在基板的所希望的位置高精度地贴附长条状感光性膜。