[发明专利]控制氧气溶解量的纯水供应系统及其脱气方法

说明书

技术领域

本发明涉及一种纯水供应系统及其脱气方法，特别涉及一种控制纯水氧气溶解量的纯水供应系统及其脱气方法。

背景技术

在半导体制造、液晶显示器、生物研发或者实验室等高科技产业，在制造过程中都要对半成品进行冲洗清洁，以利于下个工艺步骤得以顺利执行，因此纯水的使用量相当庞大。

因工艺需求规格的不同，故纯水中的溶氧含量也有差异，纯水中溶氧太低会增加纯水制造成本，纯水中溶氧太高会造成产品电路的氧化问题，进而造成产品质量或者生产合格率降低，因此必须将纯水内的氧气溶解量限定在一使用定值的范围内。

图1所示为传统纯水供应系统的示意图。已知技术的纯水供应系统包括腔体11、检测装置12、真空泵13及驱动马达14。纯水注入腔体11中，并通过驱动马达14来驱动真空泵13进行抽气，以使溶解于纯水中的气体析出并排出腔体11外，最后，自腔体11输送出去的纯水必须经由检测装置12检测，以确认纯水内的氧气溶解量是否符合使用标准。

传统的纯水供应系统所使用的检测装置12与真空泵13为两个独立的作业设备，两者之间并无直接的电性连接关系。且传统的真空泵13无法控制其运转功率，而是以全频率运转方式对腔体11持续抽气，导致最后向外输送的纯水的气体溶解量远低于使用标准。

虽然最后得到的纯水的氧气溶解量远低于工艺使用标准，然而真空泵所耗费的电能却因此而大幅度增加，且过低的气体溶解量对于生产合格率的提高并无太大的帮助，在成本比例的计算上并不符合经济效益，同时造成电力能源的过度浪费，导致制造成本的增加。

发明内容

鉴于以上的问题，本发明提供一种控制氧气溶解量的纯水供应系统及其脱气方法，由此改善已知技术的纯水供应系统无法及时控制真空泵的抽气速率而导致电力能源过度浪费以及制造成本增加等问题。

本发明的控制氧气溶解量的纯水供应系统及其脱气方法，用以去除溶解于纯水的氧气并控制纯水的氧气溶解量。

本发明的纯水供应系统包括腔体、抽气装置、检测装置、及控制器，其中控制器电性连接于检测装置与抽气装置。腔体具有一容置空间，纯水注入容置空间中，经抽气后离开容置空间，抽气装置用以抽取容置空间的气体，以降低容置空间的压力，使溶解于纯水中的氧气析出。检测装置用以检测纯水的氧气溶解量，并将对应氧气溶解量的检测信号发出至控制器中，控制器根据该检测信号来控制抽气装置的运转功率，以控制纯水的氧气溶解量。

本发明的脱气方法，首先将纯水注入至腔体的容置空间内，并以一初始运转功率对容置空间进行抽气，使得溶解于纯水中的氧气析出。接着，纯水离开容置空间，同时检测纯水的氧气溶解量，发出一对应于氧气溶解量的检测信号，并根据该检测信号控制抽气装置的运转功率。

本发明的功效在于，通过检测装置所测得的纯水的氧气溶解量，以信号控制方式调节抽气装置的运转功率，不但可以将纯水的氧气溶解量控制在要求范围内，也可降低抽气装置所耗费的电力能源。

以上关于本发明内容的说明及以下实施方式的说明用以示范与解释本发明的原理，并且进一步解释本发明的权利要求。

附图说明

图1为已知技术的纯水供应系统的组成示意图；

图2为本发明的纯水供应系统的组成示意图；以及

图3为本发明脱气方法的步骤流程图。

其中，附图标记说明如下：

10、100纯水供应系统    11、110腔体

111注水口              112抽气孔

113出水口              120抽气装置

13、121真空泵      14、122驱动马达

12、130检测装置    131溶氧计

140控制器          141变频器

150雾化器          160涤气器

170电源

步骤200将纯水注入至一容置空间，并以一初始运转功率对容置空间进行抽气，使溶解于水中的气体析出

步骤210使纯水离开容置空间

步骤220检测纯水的氧气溶解量，并发出对应于氧气溶解量的检测信号

步骤230根据检测信号控制抽气装置的运转功率

具体实施方式

图2及图3分别为本发明的控制氧气溶解量的纯水供应系统及其脱气方法的示意图与步骤流程图。