[发明专利]用于使薄层太阳能模块形成结构的方法

权利要求书

1.一种用于使薄层太阳能模块(15)形成结构的方法，其中在衬底(1)上涂覆多个薄层(2，4，10)，并且其中在薄层(2，4，10)中分别加入线状刻痕(3，5，11)，在刻痕中再去除至少一个薄层(2，4，10)的材料，其特征在于，在加入新的刻痕(5，11)之前或期间确定现有刻痕(3，5)的走向，并且在加入新的刻痕(5，11)时相对于现有刻痕(3，5)的走向调节新的刻痕(5，11)的走向。

2.如权利要求1所述的方法，其特征在于，调节新的刻痕(5，11)的走向，使得在现有的刻痕(3，5)与新的刻痕(5，11)之间调定恒定的间距(AY)。

3.如上述权利要求中任一项所述的方法，其特征在于，作为关于直线延伸的主形成结构方向(HSR)的正交偏差(DY)确定现有刻痕(3，5)的走向。

4.如上述权利要求中任一项所述的方法，其特征在于，光学地确定现有刻痕(3，5)的走向。

5.如权利要求4所述的方法，其特征在于，通过确定的波长实现薄层太阳能模块(15)的照射，其中该波长适配于被透射和/或入射的薄层(2，4，10)的和必要时衬底(2)的材料的特性、尤其是传输和反射特性。

6.如上述权利要求中任一项所述的方法，其特征在于，通过刻痕位置传感器(6)确定现有刻痕(3，5)的走向，其中该刻痕位置传感器(6)相应地跟随现有刻痕(3，5)的走向。

7.如权利要求6所述的方法，其特征在于，通过形成结构装置实现从至少一个薄层(2，4，10)中去除材料用于加入新的刻痕(5，11)，该形成结构装置的控制点以确定的间距(AX)跟随刻痕位置传感器(6)。

8.如上述权利要求中任一项所述的方法，其特征在于，通过机械的刻刀实现加入线状刻痕(3，5，11)。

9.如上述权利要求中任一项所述的方法，其特征在于，通过激光射线(8a)实现加入线状刻痕(3，5，11)，其中尤其是激光射线(8a)通过至少一个偏转镜(9)偏转到薄层太阳能模块(15)上的所期望的位置上。

10.按照如上述权利要求中任一项所述的方法加工的薄层太阳能模块(15)。

11.如权利要求10所述的薄层太阳能模块(15)，其特征在于，所述薄层太阳能模块(15)具有多个结构单元(SE1，SE2，SE3)，它们相互间通过分别具有线状刻痕(3，5，11)组的过渡区(T12，T23)分开，其中一组的线状刻痕(3，5，11)相互平行延伸。

12.如权利要求11所述的薄层太阳能模块(15)，其特征在于，一组的相邻刻痕(3，5，11)在衬底(1)的平面(xy)上测量具有60μm或者更少的间距。