[发明专利]承载台及采用该承载台的测量设备

说明书

技术领域

本发明涉及一种承载台及采用该承载台的测量设备，尤其涉及一种用于精密测量的承载台及采用该承载台的测量设备。

背景技术

接触式测长装置广泛应用于精密元件的测量，如光学元件的形状测量领域。但在使用接触式测长装置对元件进行测量时，该接触式测长装置的测量头需与元件保持接触并相对元件移动，故接触式测长装置通常被安装于一个承载台上，并随着该承载台运动。

如图1所示，一种现有装载接触式测长装置的承载台10，其包括一个基座11、一个滑鞍12及一个滑台13。该基座11表面装设有沿平行Y轴方向延伸的第一导轨111，该滑鞍12设置于第一导轨111上并可相对基座11滑动。该滑鞍12表面装设有沿平行X轴方向延伸的第二导轨121，该滑台13设置于第二导轨121上并可相对滑鞍12滑动。接触式测长装置20通常被安装于滑台13上，且其测量头201可沿平行Z轴方向运动。通过滑台13、滑鞍12的运动可带动接触式测长装置20沿X轴、Y轴运动，而在此过程中该接触式测长装置20的测量头201在测量压力的作用下可沿Z轴方向伸缩运动，故该测量头201可与元件30始终保持接触并相对元件30移动，以测量出该元件30的形状。

在对元件30的测量过程中，需使测量头201的延伸方向与Z轴方向保持一致，以使测量头201伸出或缩入的长度等于元件30沿Z轴方向的变化量。然而，接触式测长装置20定位于滑台13表面后，通常会由于承载台10各部件间的装配误差以及滑台13表面不平整，而导致其测量头201的延伸方向与Z轴方向不平行，但该承载台10仅能带动接触式测长装置20沿X轴、Y轴方向直线移动，故无法将接触式测长装置20的测量头201调整至与Z轴平行的方向，因此导致该接触式测长装置20的测量准确度较低。另外，如果对该承载台10的各个部件均采用高精密加工以使安装于该承载台10上的接触式测长装置20的测量头201的延伸方向与Z轴方向平行，则会导致该承载台10的制造成本过高。

发明内容

本发明提供一种可使安装于其上的测量装置具有较高测量准确度的承载台及采用该承载台的测量设备。

一种承载台，其包括第一弹性件、第二弹性件、至少一个第一锁合件及至少一个第二锁合件至少两个锁合件；该第一弹性件及第二弹性件分别包括两相对的侧板及连接该两侧板的连接件，第一弹性件的两相对的侧板及连接件共同围成一开槽，该第二弹性件的两相对的侧板及连接件共同围成一开槽；该第一弹性件与第二弹性件相叠合，且第一弹性件的开槽及第二弹性件的开槽朝向成一夹角；至少一个第一锁合件连接该第一弹性件的两侧板以调节该两侧板的相对位置，至少一个第二锁合件连接该第二弹性件的两侧板以调节该两侧板的相对位置。

一种承载台，其包括一个弹性件、至少一个第一锁合件及至少一个第二锁合件；该弹性件上开设有第一开槽及第二开槽，该第一开槽及第二开槽的朝向成一夹角；至少一个第一锁合件连接与第一开槽相对应的两侧板以调节该两侧板的相对位置，至少一个第二锁合件连接与第二开槽相对应的两侧板以调节该两侧板的相对位置。

一种测量设备，其包括一个承载台及设置于该承载台上的接触式测长装置，该承载台包括第一弹性件、第二弹性件、至少一个第一锁合件及至少一个第二锁合件；该第一弹性件及第二弹性件分别包括两相对的侧板及连接该两侧板的连接件，第一弹性件的两相对的侧板及连接件共同围成一开槽，该第二弹性件的两相对的侧板及连接件共同围成一开槽；该第一弹性件与第二弹性件相叠合，且第一弹性件的开槽及第二弹性件的开槽朝向成一夹角；至少一个第一锁合件连接该第一弹性件的两侧板以调节该两侧板的相对位置，至少一个第二锁合件连接该第二弹性件的两侧板以调节该两侧板的相对位置。

一种测量设备，其包括一个承载台及设置于该承载台上的接触式测长装置，该承载台包括一个弹性件、至少一个第一锁合件及至少一个第二锁合件；该弹性件上开设有第一开槽及第二开槽，该第一开槽及第二开槽的朝向成一夹角；至少一个第一锁合件连接与第一开槽相对应的两侧板以调节该两侧板的相对位置，至少一个第二锁合件连接与第二开槽相对应的两侧板以调节该两侧板的相对位置。