[发明专利]测量设备

权利要求书

1.一种测量设备，该测量设备包括两个接触式测量装置及一个 控制器，该两个接触式测量装置均包括测量头及感测该测量头位移 的传感器，且该两个接触式测量装置的测量头相互对准，该控制器 与两个接触式测量装置的传感器分别电连接，其特征在于：该接触 式测量装置上设有至少一个驱动气缸，该至少一个驱动气缸的外侧 壁设置有至少一个气体导管，该至少一个气体导管的延伸方向与该 至少一个驱动气缸轴线的夹角大于0度且小于90度，向该至少一个气 体导管内吹入的气体作用于该至少一个驱动气缸的外侧壁上，从而 推动该至少一个驱动气缸带动测量头运动，吹入的气体部分排出从 而保持该至少一个驱动气缸较小之驱动压力。

2.如权利要求1所述的测量设备，其特征在于：该接触式测量 装置还包括一个与测量头相连的光学标尺，传感器读取该光学标尺 的刻度以测定测量头位移。

3.如权利要求1所述的测量设备，其特征在于：该接触式测量 装置还包括至少一个导引块，该至少一个导引块上设有导引孔，驱 动气缸穿插于该导引孔内，该至少一个导引块上均匀设置有用于吹 入气体的所述气体导管，该气体导管与导引孔相通，该至少一个驱 动气缸的外侧壁与该至少一个导引块间存在间隙，向该气体导管内 吹入气体使至少一个驱动气缸的外侧壁与该至少一个导引块之间形 成空气轴承。

4.如权利要求3所述的测量设备，其特征在于：该至少一个导 引块上设有两个相互平行的导引孔，该至少一个驱动气缸的数量为 两个，该两个驱动气缸分别插入该导引孔中并排设置。

5.如权利要求3所述的测量设备，其特征在于：该接触式测量 装置还包括底座，该底座用于固定和支撑上述各构成元件。

6.如权利要求3所述的测量设备，其特征在于：该接触式测量 装置还包括罩体，该罩体可防止外部的异物进入。