[发明专利]超声波扫描仪

说明书

技术领域

本发明涉及一种测试装置，特别是一种超声波扫描仪。

背景技术

目前随着半导体产业的蓬勃发展，半导体芯片(IC)在整个电子产业应用相当广泛。由于制造工艺水平等问题，无法保证所有IC在制造和封装过程中内部不存在缺陷，由于内部缺陷从外观无法检验，业界的IC制造企业、模块及IC测试机构通常使用超声波扫描仪进行无损检测。

超声波扫描仪用于验证IC在生产、存放、测试等过程中其封装有无受到温湿度及周围环境的影响，使其内部受到损坏从而不能正常的工作。其特点在于能够精确的反映出声波和微小样品的弹性介质之间的相互作用，从样品内部反馈回来的信号进行分析，通过探头发射和接收声波信号，利用数字波形展示出接收到的回馈信息，从而判定IC内部是否有分层或断裂情况。超声波扫描主要有透射和反射两种工作方式，透射扫描为采用顶部发射扫描信号底部对应位置接收透过物体的信号生成扫描结果；反射扫描主要采用顶部发射扫描信号，信号经物体反射后再次由顶端探头接收反射信号生成扫描结果。

目前超声波扫描仪主要的固定工作方式为：在一敞开槽体内盛放适量去离子水(因为检测用的超声波不适合在空气中传播)，在槽体中间位置对应设置一承载待测试基板的固定结构，将测试基板固定在槽体中。采用可以平移的顶部扫描探头搭配与其垂直对应的底部接收探头进行扫描工作，将待测试物体放在承载待测试基板上。由于顶部扫描探头、底部接收探头在工作时的移动。去离子水的内部流动以及超声波扫描仪的抖动会引起待测试IC的晃动而影响测试结果和精准度。因此，待测物体通常需要固定。前业界采用的固定方式为使用平面的双面胶带贴附于承载待测试基板上将待测试物体进行固定。这样的固定方式使得在测试多个不同尺寸IC时需要裁剪不同尺寸的双面胶带。在使用过程中胶带层中的物质易溶解在整个去离子水中，造成对测试环境的污染，从而影响测试精度。而且使用后双面胶带无法轻易清洁。

发明内容

鉴于此，有必要提供一种可防止检测过程中待测物体晃动的超声波扫描仪。

一种超声波扫描仪，其包括槽体、超声波发射器、超声波接收器、两个传动机构和承载板，所述两个传动机构上下平行设置在槽体内，用于分别带动所述超声波发射器和超声波接收器移动，所述超声波发射器和超声波接收器分别用于发射和接收超声波信号，所述承载板水平设置于所述槽体在两个传动机构之间的内侧壁上，以承放待测物体。所述承载板上开设有滑动槽，所述超声波扫描仪还包括连接元件和夹持元件，所述连接元件穿过所述滑动槽及所述夹持元件，以将待测物体夹持于所述夹持元件与承载板之间。

一种超声波扫描仪，其包括槽体、超声波收发器、传动机构和承载板，所述传动机构设置在槽体内，用于带动所述超声波收发器水平移动，所述超声波收发器用于发射和接收超声波信号，所述承载板水平设置于所述槽体内侧壁上，以承放待测物体。所述承载板上开设有滑动槽，所述超声波扫描仪还包括连接元件和夹持元件，所述连接元件穿过所述滑动槽及所述夹持元件，以将待测物体夹持于所述夹持元件与承载板之间。

上述超声波扫描仪通过夹持元件将待测物体的夹持在承载板上，保证了待测物体在检测过程中的稳定性，从而提高了检测精度。

附图说明

图1为一较佳实施方式的透射式超声波扫描仪截面视图。

图2为图1所示的超声波扫描仪的俯视图。

图3为图1所示的超声波扫描仪的俯视分解图。

图4为另一较佳实施方式的反射式超声波扫描仪截面视图。

具体实施方式

请同时参阅图1、图2和图3，其为一较佳实施方式的透射式超声波扫描仪10的截面视图、俯视图。超声波扫描仪10包括槽体102、超声波发生器104、超声波接收器106，两个传动机构108、110、承载板112、多个连接元件115和多个夹持元件116。为了方便理解，该图2和图3中省略了超声波发生器104、超声波接收器106，两个传动机构108、110。

槽体102为一面开口的方形收容槽。超声波发生器104、超声波接收器106分别设置在两个传动机构108、110上，分别用于发射和接收超声波信号。两个传动机构108、110上下平行的设置在槽体102的内部，且与槽体102的内侧壁122相连，用于分别带动所述超声波发生器104、超声波接收器106同步移动。该传动机构108、110可为螺旋导杆、齿条或者伸缩臂等。

承载板112呈矩形，连接于槽体102两相对的内侧壁上，且位于两个传动机构108、110之间，用于承载待测物体200。承载板112上开设有两个相互平行的滑动槽132。