[发明专利]紫外－真空紫外光谱辐射传输特性测试装置

权利要求书

1.一种紫外-真空紫外光谱辐射传输特性测试装置，包括单色仪(6)、标准光源(7)、真空罐(1)、设置在真空罐(1)中的固定在转台(2)一侧上的光电倍增管(4)、通过两个插板阀(1.1)分别与真空罐(1)腔体连通的低温泵(1.4)和分子泵(1.5)、与真空罐(1)腔体官路连通的干泵(1.7)、通过管路与真空罐(1)腔体连通的低温机组(1.8)，其特征在于，所述的真空罐(1)的一端上设置一法兰式接口(5)，通过该接口(5)可替换式连接所述的单色仪(6)或标准光源(7)；在真空罐(1)内设置一相对于接口(5)轴线垂直方向平移滑动的位移平台(3)，所述的转台2设置在该位移平台(3)上。

2.根据权利要求1所述的紫外-真空紫外光谱辐射传输特性测试装置，其特征在于，在所述的分子泵(1.5)上还连接有冷阱(1.6)。