[发明专利]具有带反射涂层的反射镜元件的投影物镜

权利要求书

1.一种光学系统，包括：

多个被设置成使波长为λ的光从物平面向像平面成像的元件，

该多个元件包括位于光路上的具有反射表面的多个反射镜元件；

多个反射镜元件中的至少一个是光瞳反射镜，其具有设置在或接近光学系统的光瞳表面的位置处的光瞳反射镜表面；并且

剩余反射镜元件中的至少一个是高负荷的反射镜，其具有反射镜表面并被设置在产生所有剩余反射镜的入射角范围的最大值和平均入射角的最大值中的至少一个的位置，其中该剩余反射镜包括除了光瞳反射镜之外的所有反射镜；

其中光瞳反射镜表面是通过设计为包括不同材料层的多层堆叠的一维渐变涂层的反射涂层形成，该多层具有几何层厚度，该厚度根据第一渐变函数在涂层的第一方向上变化并且在垂直于第一方向的第二方向上基本恒定；和

其中高负荷的反射镜的反射镜表面被涂覆有根据第二渐变函数设计的渐变涂层的反射镜涂层。

2.如权利要求1所述的光学系统，其中高负荷的反射镜的反射镜涂层的多层的位置和几何层厚度的变化量中的至少一个适合于一维渐变光瞳反射镜涂层，使得由一维渐变光瞳反射镜涂层引起的像场中的非均匀的光强度至少部分被高负荷的渐变涂层补偿。

3.如权利要求1所述的光学系统，其中光瞳反射镜表面被设置在满足条件式P(M)≥0.95的位置并且高负荷的反射镜的反射镜表面被设置在满足条件式P(M)＜0.95的位置，其中

P(M)＝D(SA)/(D(SA)+D(CR))，

其中D(SA)是由在相应表面M上的物表面中的视场点发出的光束的次孔径的直径，D(CR)是在光学系统的子午平面内测得的由光学系统成像的有效物场的主光线的最大距离。

4.如权利要求1所述的光学系统，其中除光瞳反射镜之外的高负荷的反射镜是位于或接近于投影物镜的另一个光学共轭光瞳表面的另一个光瞳反射镜。

5.如权利要求4所述的光学系统，其中高负荷的反射镜的渐变涂层被优化以至少部分地补偿由于另一个光瞳反射镜的一维渐变涂层引起的照明不均匀。

6.如权利要求1所述的光学系统，其中多个元件定义了子午平面，并且其中第一方向在该子午平面内。

7.如权利要求1所述的光学系统，其中多个元件定义了子午平面，并且这些元件关于该子午平面对称。

8.如权利要求1所述的光学系统，其中通过光学系统的光路是通过在反射表面的每个位置上的光线的平均入射角θ_avg来表征；和

其中第一渐变函数适用于在光瞳反射镜表面的平均入射角θ_avg，使得多层堆叠的多层的局部几何层厚度在第一方向上随平均入射角θ_avg成比例地变化。

9.如权利要求1所述的光学系统，其中通过光学系统的光路是通过在反射表面的每个位置上的光线的入射角范围Δθ来表征；和

其中第一渐变函数适用于在光瞳反射镜表面的入射角范围Δθ，使得多层堆叠的多层的局部几何层厚度在第一方向上随入射角范围Δθ成比例地变化。

10.如权利要求1所述的光学系统，其中第一渐变函数适用于在光瞳反射镜的每个位置上的入射角范围Δθ和平均入射角θ_avg中的至少一个，使得光瞳反射镜表面的局部反射率的绝对值在第一方向上的变化不超过30％。

11.如权利要求1所述的光学系统，其中第一渐变函数是线性函数、。

12.如权利要求1所述的光学系统，其中第一渐变函数被定义为多层堆叠的多层的局部几何层厚度沿着第一方向从光瞳反射镜的一侧到该光瞳反射镜的另一侧单调增加。

13.如权利要求1所述的光学系统，其中第一渐变函数是抛物线函数。

14.如权利要求1所述的光学系统，其中高负荷的反射镜的反射镜涂层是根据对称于旋转中心的旋转对称第二渐变函数来设计。

15.如权利要求14所述的光学系统，其中旋转对称的第二渐变函数是抛物线函数。