[发明专利]隔壁形成方法

说明书

技术领域

本发明涉及隔壁形成方法，进一步详细而言，涉及一种隔壁形成方法，该方法包括在由使用抗蚀剂掩模的图案形成(patterning)形成隔壁图案(pattern)的材料层之后，从该隔壁图案的材料层除去抗蚀剂掩模的工序。

背景技术

作为具有隔壁的显示面板，已知等离子体显示面板(以下称为“PDP”)，其中特别熟知AC面放电型的PDP。该PDP采用贴合前面侧的基板和背面侧的基板、在内部封入放电气体的结构。在前面侧的基板的内面上平行地形成多个显示电极，以电介质层和保护层覆盖该显示电极。在背面侧的基板上形成用于划分放电空间的隔壁，在隔壁和隔壁之间分开涂敷三原色，即红色(R)、绿色(G)和蓝色(B)的荧光体层。

在邻接的一对显示电极间施加电压时，由隔壁划分的放电空间产生放电，伴随该放电产生紫外线，通过该紫外线激发荧光体层发光，从而进行颜色显示。上述隔壁的形成广泛使用喷砂法、蚀刻法等消去法(subtract)(例如，参照日本特开平2-301934号公报)。

使用喷砂法的隔壁形成工艺中，首先在基板上形成隔壁材料层，在该隔壁材料层上叠层(laminate)感光性的干膜，或涂敷液状的感光性抗蚀剂，通过曝光、显影，形成隔壁图案的抗蚀剂掩模。

然后，由喷砂除去从该抗蚀剂掩模(隔壁图案掩模)露出的隔壁材料层后，通过使用剥离液洗净除去抗蚀剂掩模，形成隔壁图案的材料层，通过烧结该隔壁图案的材料层形成隔壁。

使用该喷砂法的隔壁形成工艺中，必须具有在从抗蚀剂掩模露出的隔壁材料层上吹附切削粒子的切削工序，和在该切削工序后除去抗蚀剂掩模的工序。

但是，在抗蚀剂掩模的除去工序中，会发生作为隔壁图案的应该残留的隔壁材料层倒塌而产生缺陷的问题。该问题随着图像质量变得高精细、隔壁宽度变窄、画面比率(Aspect Ratio)变高而变得显著。

发明内容

本发明是考虑了上述情况而提出的，通过在基板和隔壁材料层之间形成在烧结隔壁图案材料层时会被烧尽的粘接层，防止在抗蚀剂掩模的除去工序中的隔壁图案材料层的倒塌。

本发明的隔壁形成方法的特征在于，由以下工序构成：在基板上形成隔壁材料层，在其上形成抗蚀膜并进行抗蚀膜的图案形成，利用形成图案后的抗蚀膜作为掩模，除去从该掩模露出的隔壁材料层，从而形成隔壁图案的材料层，之后，从该隔壁图案的材料层除去抗蚀膜，之后通过烧结隔壁图案的材料层形成隔壁，具有在上述基板和隔壁材料层之间形成粘接层的工序，上述粘接层具有粘接力，在从隔壁图案的材料层除去抗蚀膜时，能够将上述隔壁图案的材料层维持在基板上，且该粘接层由在烧结隔壁图案的材料层时会被烧尽的热烧尽性的材料构成。

根据本发明，因为除去抗蚀剂掩模的工序时隔壁不会发生倒塌，所以能够降低隔壁的不良率。此外，在将本发明应用于显示面板的制造中时，因为即使隔壁的宽度很细也不会发生隔壁的倒塌，所以能够制造更高精细的显示面板。

附图说明

图1是表示应用本发明的隔壁形成方法所制造的PDP的一个例子的说明图。

图2是表示本发明的隔壁形成方法的工序顺序的说明图。

具体实施方式

本发明的隔壁形成方法的要点是：以在隔壁材料层的形成面与隔壁材料层之间设置以树脂为主要成分的热烧尽性的粘接层的状态进行隔壁的图案形成。粘接层使用能够承受隔壁材料层的干燥阶段的热处理，在图案形成后的烧结工序中与隔壁材料内的粘合剂成分一同烧尽的材料。

本发明的隔壁形成方法适用于利用喷砂法的图案形成，也能够应用于伴随抗蚀剂掩模的剥离工序的化学蚀刻法。此外，作为对象的PDP不仅有AC面放电型的PDP，也可以为DC型的PDP，在前面侧的基板或在前面侧的基板和背面侧的基板两者上形成有隔壁的PDP中也能够应用本发明。

在本发明中，作为基板，包括玻璃、石英、陶瓷等的基板，和在这些基板上形成电极、绝缘膜、电介质层、保护膜等的期望的构成要素的基板。