[发明专利]光图像计测装置

权利要求书

1、一种光图像计测装置，其特征在于：包括：

光源，输出低相干光；

干涉光产生元件，将前述输出的低相干光分割成导向被测定物体的信号光以及导向参照物体的参照光，并使经由前述被测定物体的信号光和经由前述参照物体的参照光重叠，以产生干涉光；

变更元件，改变前述信号光和前述参照光的光路径长度差；

检测元件，检测前述产生的干涉光；

图像形成装置，基于前述检测元件的检测结果，在预定的图框内形成前述被测定物体的图像；

分析元件，分析前述形成的图像，对在前述预定图框内的该图像的位置进行指定；及

控制元件，基于前述指定的位置，控制前述变更元件，改变前述光路径长度差，以使得前述图像形成元件所新形成的前述被测定物体的图像被配置在前述预定图框内的指定位置。

2、根据权利要求1所述的光图像计测装置，其特征在于：

前述分析元件对前述形成的图像，指定出与前述被测定物体的预定深度位置相当的部分图像的在前述预定图框内的位置，

前述控制元件通过改变前述光路径长度差，以在前述新形成的图像中，使得前述部分图像配置在前述预定图框内的指定位置，借此将前述新形成图像配置在前述预定位置。

3、根据权利要求2所述的光图像计测装置，其特征在于：

前述分析元件对前述形成的图像，求取在前述预定图框内的前述部分图像的位置，并且计算出前述求得的位置和前述指定位置间的位移，

前述控制元件，通过以对应前述位移的距离改变前述光路径长度差，借此将前述新形成图像的前述部分图像配置在前述预定位置。

4、根据权利要求1所述的光图像计测装置，其特征在于：还包括：

扫描元件，用以使对前述被测定物体的前述信号光的照射位置移动，

前述控制元件仅在前述扫描元件使前述照射位置移动的期间内，改变前述光路径长度差。

5、根据权利要求4所述的光图像计测装置，其特征在于：

前述分析元件计算出前述光路径长度差的变更距离，以将前述新形成图像配置在前述预定位置，

前述控制元件，在前述照射位置的移动中改变的前述光路径长度差比前述变更距离短的场合，更在前述扫描元件的下次以后的前述照射位置的移动中，改变前述光路径长度差，借此以前述变更距离改变前述光路径长度差。

6、根据权利要求4所述的光图像计测装置，其特征在于：

前述扫描元件，沿着预先设定的多数条扫描线，对前述信号光进行扫描，

前述控制元件，从前述多数条扫描线其中之1的扫描线中，只有在其它扫描线移动前述照射位置之间，改变前述光路径长度差。

7、根据权利要求4所述的光图像计测装置，其特征在于：

前述扫描元件是使前述照射位置在预先设定的扫描在线的多数个扫描点上依序移动，

前述检测装置检测出基于分别照射在前述多数个扫描点的前述信号光的干涉光，

前述分析元件对各个基于前述多数个干涉光中的预定数目干涉光的检测结果，由前述图像形成元件所形成的前述被测定物体的深度方向的图像，指定在前述预定图框内的位置，

前述控制元件基于对前述预定数目的前述深度方向的各个图像所指定的位置，控制前述变更元件，改变前述光路径长度差，使得由前述图像形成元件新形成的图像配置在前述预定位置。

8、根据权利要求1所述的光图像计测装置，其特征在于：

前述参照物体为反射前述参照光的反射镜，

前述变更元件还包括驱动元件，其使前述反射镜在前述参照光的行进方向上移动。

9、根据权利要求1所述的光图像计测装置，其特征在于：

前述分析元件分析前述形成的图像，计算出前述图像的信号水平或相对信号水平的噪声比，并判断前述信号水平或相对信号水平的噪声比是否超过临界值，

前述控制元件，在判断超过前述临界值时而改变前述光路径长度差后，改变前述光路径长度差，以使由前述图像形成元件新形成的图像配置在前述预定位置上。