[发明专利]一种用于扫描力显微镜上安装悬臂梁探针的卡具有效
申请号: | 200710301961.6 | 申请日: | 2007-12-24 |
公开(公告)号: | CN101183568A | 公开(公告)日: | 2008-05-21 |
发明(设计)人: | 陈晓梅;马晓苏;朱振宇 | 申请(专利权)人: | 中国航空工业第一集团公司北京长城计量测试技术研究所 |
主分类号: | G12B21/22 | 分类号: | G12B21/22;G12B21/02 |
代理公司: | 中国航空专利中心 | 代理人: | 李建英 |
地址: | 10009*** | 国省代码: | 北京;11 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 用于 扫描 显微镜 安装 悬臂梁 探针 卡具 | ||
1.一种用于扫描力显微镜上安装悬臂梁探针的卡具,其特征是,卡具由楔形块[1]、磁铁[3]、卡具主体[4]和紧固小螺栓[5]组成,卡具主体[4]的下半部为筒体,上半部的一侧带有凸耳[8],凸耳[8]上开有至筒体内壁的开口槽[12],开口槽[12]将凸耳[8]分为两片,一片上开螺纹孔,另一片上开光孔;卡具主体[4]的上半部在带有凸耳[8]一侧的内圆中设置半圆形平台[11],半圆形平台[11]自圆心径向开有使入射至悬臂梁探针针尖背面的激光束通过的凹槽[7],半圆形平台[11]的底部开有中心对称并与楔形块[1]宽度和楔形块[1]上底边[9]厚度相同的通槽[13],通槽[13]中嵌入楔形块[1];卡具主体[4]上半部与下半部接壤处的外缘上沿凸耳[8]向卡具主体[4]中心开狭槽[6]。
2.根据权利要求1所述的一种用于扫描力显微镜上安装悬臂梁探针的卡具,其特征在于,卡具主体[4]为整体结构,筒体内的半圆平台[11]与卡具主体[4]的外缘为一体,卡具主体[4]的下半部筒体为空心,卡具主体[4]的上半部筒体中一半为半圆平台[11],另一半为镂空通孔。
3.根据权力要求1所述的一种用于扫描力显微镜上安装悬臂梁探针的卡具,其特征在于,楔形块[1]的平面的中心开有圆形槽[14],圆形槽[14]内置入与圆形槽[14]体积相同的磁铁[3],楔形块[1]的楔形面下底边[10]向上底边[9]方向开有悬臂梁探针安装槽[15],楔形块[1]的平面与楔形面的夹角为12°。
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