[发明专利]用于磨抛机的磨抛液自动输送装置

说明书

技术领域

本发明涉及半导体制造设备，具体是指半导体材料表面磨抛机用磨抛液自动输送装置。

背景技术

近几年来，随着红外热成像技术的蓬勃发展，对红外探测器的需求也与日俱增，对红外探测器组件芯片材料碲镉汞和碲锌镉的加工要求也越来越高。因此，为磨抛特殊红外半导体材料碲镉汞和碲锌镉表面而研制的专用磨抛处理设备——精密磨抛机的需求也水涨船高。现有的专用磨抛机大部分还采用手动进料的方式供给磨抛液，即费工又费时，还容易带入杂质污染物；虽然有少部分拥有自动进料装置，但其效果不是特别好，不能对磨抛液进行均匀的搅拌，使颗粒度不大于3微米的磨抛液非常容易产生沉淀；同时，由于采用类似吊瓶“滴液”的方式输出，使得磨抛液输出不均匀。

发明内容

本发明解决的技术问题是，针对现有技术存在的不足，提供一种用于磨抛机的磨抛液自动输送装置，它应用于加工特殊红外半导体材料表面的专用磨抛处理设备——精密磨抛机上，可以配装3微米以下磨料的研磨液与各类弱酸及弱碱性抛光液，以满足实际使用的需要；该装置还可用于其他各类专用磨抛设备。

本发明的技术方案是，所述用于磨抛机的磨抛液自动输送装置有置于滚轮架的滚轮上的料桶，该料桶一端的端面一侧设有带密封盖的加料口，其结构特点是，阀座固定安装在料桶的所述端面上，该阀座位于料桶内的一端同取液管的一端连接而该取液管的另一端为靠近料桶柱面内壁的进料口，所述取液管经阀座内的通道与该阀座中的锥形腔连通，阀体的一端同阀座位于料桶外的一端固定连接且该阀体上的出料口经阀体内腔同阀座的所述锥形腔连通；所述阀体的另一端同阀门调节螺母的一端用螺纹连接；阀轴装在贯通阀门调节螺母、阀体、阀座的阀轴安装孔中，该阀轴位于料桶中的一端与阀座的相应端之间设有密封垫圈，且所述阀轴的该端端口经该阀轴中的通道及进气口同所述锥形腔连通；可在所述阀轴安装孔中作轴向移动的所述阀轴的锥形段位于所述阀座的锥形腔部位而组成阀座通道的开闭结构，所述阀门调节螺母的阀轴安装孔管底端位于所述阀轴的台阶上；阀体的所述另一端端面上固定安装有三个在同一圆周平面上均匀分布的销柱，各销柱上分别套装有位于阀体的该端面与锁紧螺母之间的弹簧，所述锁紧螺母装在阀门调节螺母另一端内底面；所述阀轴位于阀门调节螺母外的一端固定装有止动杆安装块，且压紧弹簧装在该止动杆安装块与阀门调节螺母之间，止动杆安装块上装有止动杆。

以下对本发明做出进一步说明。

参见图1和图2，本发明有置于滚轮架的滚轮28上的料桶16，该料桶16一端的端面一侧设有带密封盖11的加料口，其结构特点是，阀座9固定安装在料桶16的所述端面上，该阀座9位于料桶16内的一端同取液管13的一端连接而该取液管13的另一端为靠近料桶16柱面内壁的进料口，所述取液管13经阀座9内的通道与该阀座9中的锥形腔20连通，阀体8的一端同阀座9位于料桶16外的一端固定连接且该阀体8上的出料口21经阀体8内腔同阀座9的所述锥形腔20连通；所述阀体8的另一端同阀门调节螺母7的一端用螺纹连接；阀轴15装在贯通阀门调节螺母7、阀体8、阀座9的阀轴安装孔中，该阀轴15位于料桶16中的一端与阀座9的相应端之间设有密封垫圈14，且所述阀轴15的该端端口经该阀轴中的通道及进气口24同所述锥形腔20连通；可在所述阀轴安装孔中作轴向移动的所述阀轴15的锥形段19位于所述阀座9的锥形腔20部位而组成阀座通道的开闭结构，所述阀门调节螺母7的阀轴安装孔管23底端为于所述阀轴15上的台阶22上；阀体8的所述另一端端面上固定安装有三个在同一圆周平面上均匀分布的销柱5，各销柱5上分别套装有位于阀体8的该端面与锁紧螺母4之间的弹簧6，所述锁紧螺母4装在阀门调节螺母7另一端内底面；所述阀轴15位于阀门调节螺母7外的一端固定装有止动杆安装块1，且压紧弹簧3装在该止动杆安装块1与阀门调节螺母7之间，止动杆安装块1上装有止动杆2。