[发明专利]圆环型光子筛及其制作方法

权利要求书

1、一种圆环型光子筛，其特征在于，该圆环型光子筛是一种在透明介质上，先制造普通的光子筛，然后在每个普通光子筛的衍射孔处刻蚀双圆环位相环，形成有多个同心环带位相衍射单元的位相板。

2、根据权利要求1所述的圆环型的光子筛，其特征在于，所述位相板的大小与对应的普通的光子筛相当，环带的位相分布在同一圆环内的位相值是相同的。

3、根据权利要求1所述的圆环型的光子筛，其特征在于，所述同心环带位相衍射单元相邻环带的位相值是0和π。

4、根据权利要求3所述的圆环型光子筛，其特征在于，所述各环带位相板的归一化半径值分别为0.8200和1。

5、一种制作圆环型光子筛的方法，该方法利用大规模集成电路工艺技术和平面光刻工艺技术实现，其特征在于，该方法包括：

利用电子束直写法制作出母版；

通过接触式光刻法将母版图案转移到涂有光刻胶的光学玻璃上；

利用感应耦合等离子刻蚀技术，将移到光学玻璃光刻胶上的图案刻蚀到光学玻璃中。

6、根据权利要求5所述的制作圆环型光子筛的方法，其特征在于，所述通过接触式光刻法将母版图案转移到涂有光刻胶的光学玻璃上的步骤中，所述接触曝光的复制误差小于0.5μm，所采用的光刻胶为Shipley s1818，厚度为1.8μm。

7、根据权利要求5所述的制作圆环型光子筛的方法，其特征在于，所述将移到光学玻璃光刻胶上的图案刻蚀到光学玻璃中的步骤中，所采用的刻蚀气体为三氟甲烷CHF₃，流量为30SCCM，RF功率为500W，偏置功率为200W，对石英基底的刻蚀速率为0.077μm/min。