[发明专利]一种带指示光的高功率单腔L型绿光激光器

说明书

技术领域

本发明涉及一种腔内倍频532nm绿光激光器，属于绿光激光装置技术领域。

背景技术

532nm绿光激光器是利用非线性倍频技术，将1064nm激光通过倍频晶体的非线性效应产生绿光的一种激光技术。腔内倍频绿光激光器具有效率高、输出功率高、光束质量好、结构紧凑等优点。

将连续1064nm基频光调Q后得到的脉冲激光倍频是产生高功率532nm绿光的重要方式之一，但是由于受倍频效率低、腔型热稳定性差、调Q激光脉冲峰值功率低等因素的限制，有报道的倍频绿光激光器虽可以达到高功率，但是腔型和结构复杂，体积大，成本高，维护和使用不方便，大大制约了在生产中的应用。

发明内容

本发明目的在于提供一种带指示光的高功率单腔L型绿光激光器，该激光器具有输出功率大、倍频效率高、输出稳定、成本低等特点。

本发明是通过以下技术方案实现的：包括镀有基频光1064nm全反膜的全反镜1、Q开关2、两端镀有基频光增透膜的激光棒3、45°输出镜5、倍频晶体6、双波长全反镜7、红光发生器8、镀有红光全反膜的第一45°全反镜9和第二45°全反镜10；其中，在全反镜1沿光路到激光棒3之间设置有Q开关2，Q开关2之后是泵浦腔，包含有材料为Nd:YAG或Nd:YVO₄或Nd:YLF或Yb:YAG的激光棒3以及二极管侧面泵浦模块或弧光灯的泵浦源4，在激光棒3之后沿光路方向依次设置有45°输出镜5、非线性倍频晶体6和双波长全反镜7，45°输出镜5面向腔内一面镀有对45°532nm绿光全透、45°1064nm基频光全反的介质膜，该双波长全反镜7镀有对1064nm和532nm波长的全反膜；在绿光谐振腔另一侧设置有红光发生器8，沿着红光的传播方向依次设置有第一45°反射镜9和第二45°反射镜10；红光发生器8发出的红光经过第一45°反射镜9和第二45°反射镜10后经过谐振腔，在45°输出镜5处透射出去作为指示光。

所述的红光发生器8为He-Ne激光管或二极管。

激光棒3产生连续1064nm基频光经过Q开关2调Q后变成脉冲的基频光，在45°输出镜5处反射后经过倍频晶体6倍频得到绿光，再经过双波长全反镜7反射，绿光透过倍频晶体；剩余的基频光再次经过倍频晶体6倍频，两次倍频得到的绿光最后透过45°输出镜5输出，而还剩下的微弱基频光则在45°输出镜5处反射进入激光棒3再次参与振荡。

本发明的优点在于：采用腔内倍频技术和声光调Q技术，仅利用单腔和单Q开关，实现了高功率、窄脉宽、高稳定度的绿光输出，同时也大大缩小了体积、降低了成本。在腔内基频光Q开关最大关断位置放置Q开关，最大程度关断基频光，得到高重复频率、高峰值功率、窄脉宽的基频光。在腔内加入红光发生器，在输出镜处得到红光输出，作为指示绿光出光位置的指示光，两者严格同心，大大方便了操作者使用和安全保护。

附图说明

图1为本发明结构示意图：

图中：1、全反镜，2、Q开关，3、激光棒，4、泵浦源，5、45°输出镜，6、倍频晶体，7、双波长全反镜，8、红光发生器，9、第一45°全反镜，10、第二45°全反镜。

具体实施方式

下面结合附图和具体实施例子对本发明作进一步说明，但并不是具体限制该发明产生的条件，只是具体的实施方法。

如图1，全反镜1选用平面镀1064nm全反膜平透镜；Q开关2选用声光调Q开关，驱动功率是100W，调制频率是1-50KHz，声光晶体两面都镀有1064nm增透膜。激光棒3选用Φ6×150的Nd:YAG晶体棒，棒两端均镀有对1064nm的增透膜。泵浦源4是双氪弧光灯泵浦，两灯最大可注入功率约为7KW。45°输出镜5为平透镜，面向腔内一侧镀有对532nm高透、1064nm全反的介质膜。倍频晶体6选用按θ为90°，Φ为24.4°角度切割的KTP倍频晶体，尺寸为8×8×10mm，两面均镀有对1064nm和532nm增透膜。双波长全反镜7为平透镜，面向腔内一面都有对1064nm和532nm均全反的介质膜。红光发生器选用He-Ne激光管8功率是3mW；第一45°全反镜9和第二45°全反镜10均镀有对红光全反的介质膜。