[发明专利]一种具有耐腐蚀膜的稀土永磁体的制造方法有效
| 申请号： | 200710303972.8 | 申请日： | 2007-12-24 |
| 公开（公告）号： | CN101469428A | 公开（公告）日： | 2009-07-01 |
| 发明（设计）人： | 王湛;饶晓雷;王浩颉;胡伯平 | 申请（专利权）人： | 北京中科三环高技术股份有限公司 |
| 主分类号： | C23C28/00 | 分类号： | C23C28/00;H01F1/057;H01F41/02 |
| 代理公司： | 北京乾诚五洲知识产权代理有限责任公司 | 代理人： | 付晓青;李广文 |
| 地址： | 100080北京市海淀区*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 具有 腐蚀 稀土 永磁体 制造 方法 | ||
1.一种具有耐腐蚀膜的稀土永磁体的制造方法，所述制造方法 包括如下步骤：
(1)对稀土永磁体工件的表面施以喷砂处理；
(2)将喷砂完的永磁体工件放入镀膜机真空室中，对镀膜机真空 室抽真空，在惰性气体下利用离子源对磁体进行离子化轰击；
(3)离子化轰击后，在真空条件下，对铝材进行蒸发，将蒸发源 垂直方向匀速往复运动；并且在蒸发过程中同时开启电弧电源轰击铬 靶块，在永磁体工件和真空室金属外壳炉体上加载一定的轰偏电压， 形成离子流，使铝材蒸发的铝蒸汽离子化，以使永磁体工件的表面形 成铝镀层沉积。
2.如权利要求1所述的制造方法，其中，在喷砂过程中，喷砂 磨料为60～150目，压缩空气为0.3～0.7Mpa。
3.如权利要求1所述的制造方法，其中，对喷砂过的永磁体工 件进行抽真空至真空度为3x10-3Pa。
4.如权利要求1所述的制造方法，其中，所述惰性气体包括氩 气、氮气、氖气。
5.如权利要求1所述的制造方法，其中，所述离子化轰击在离 子源电源功率≤2kw条件下进行轰击。
6.如权利要求1所述的制造方法，其中，在蒸发过程中真空度 为0.1～3.0Pa。
7.如权利要求1所述的制造方法，其中，在蒸发时，蒸发源在 垂直方向匀速往复运动，且蒸发距离的变化范围在0～20mm，速度调 整范围在1～10mm/min。
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