[发明专利]一种故障检测的方法和系统有效
申请号: | 200710304377.6 | 申请日: | 2007-12-27 |
公开(公告)号: | CN101470426A | 公开(公告)日: | 2009-07-01 |
发明(设计)人: | 陈卓 | 申请(专利权)人: | 北京北方微电子基地设备工艺研究中心有限责任公司 |
主分类号: | G05B19/048 | 分类号: | G05B19/048;H01L21/00 |
代理公司: | 北京集佳知识产权代理有限公司 | 代理人: | 苏培华;逯长明 |
地址: | 100016北京市*** | 国省代码: | 北京;11 |
权利要求书: | 查看更多 | 说明书: | 查看更多 |
摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 故障 检测 方法 系统 | ||
1.一种故障检测的方法,其特征在于,包括:
采集多个参数的实时数据;
在采集数据的开始阶段,对于采集的多个参数的实时数据,判断每个参数的实时数据是否超出了基准数据的3倍标准偏差,如果超过,则去除超出该参数的实时数据;
将去除该参数的实时数据后的、其他所述多个参数变换为至少一个参数组合,每个参数组合中至少包括两个参数;
计算得到针对所述参数组合的一个指标参数;
判断该指标参数是否在阈值范围内,如果超过阈值范围,则确认当前时间点出现故障。
2.如权利要求1所述的方法,其特征在于,还包括:
分析确定在当前故障点,对故障贡献度超过阈值的参数组合;
计算得到该参数组合中对主元贡献度超过阈值的参数,确定其为问题参数。
3.如权利要求1所述的方法,其特征在于,还包括:
分析确定在当前故障点,对故障贡献度超过阈值的参数组合;
计算得到该参数组合中对主元贡献度超过阈值的参数;
将在不同参数组合中,对主元贡献度都超过阈值的参数确定为问题参数。
4.如权利要求2或3所述的方法,其特征在于,还包括:
依据所述问题参数确定故障硬件。
5.如权利要求1所述的方法,其特征在于,还包括:
在确定出现故障之后,发出报警和相应提示信息。
6.如权利要求2或3所述的方法,其特征在于,还包括:
在确定问题参数之后,发出报警和相应提示信息。
7.一种故障检测的系统,其特征在于,包括:
数据筛选单元,用于在采集数据的开始阶段,对于采集的多个参数实时数据,判断每个参数的实时数据是否超出了基准数据的3倍标准偏差,如果超过,则去除超出该参数的实时数据;
变换单元,用于将去除该参数的实时数据后的、其他所采集的多个参数的实时数据变换为至少一个参数组合,每个参数组合中至少包括两个参数;
指标计算单元,用于计算得到针对所述参数组合的一个指标参数;
故障判定单元,用于判断该指标参数是否在阈值范围内,如果超过阈值范围,则确认当前时间点出现故障。
8.如权利要求7所述的系统,其特征在于,还包括:
参数组合确定单元,用于分析确定在当前故障点,对故障贡献度超过阈值的参数组合;
参数确定单元,用于计算得到该参数组合中对主元贡献度超过阈值的参数,确定其为问题参数。
9.如权利要求7所述的系统,其特征在于,还包括:
参数组合确定单元,用于分析确定在当前故障点,对故障贡献度超过阈值的参数组合;
参数确定单元,用于计算得到该参数组合中对主元贡献度超过阈值的参数;
问题参数确定单元,用于将在不同参数组合中,对主元贡献度都超过阈值的参数确定为问题参数。
10.如权利要求8或9所述的系统,其特征在于,还包括:
硬件确定单元,用于依据所述问题参数确定故障硬件。
11.如权利要求8或9所述的系统,其特征在于,还包括:
报警单元,直接与参数确定单元相连,用于针对问题参数发出报警和相应提示信息。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息,商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于北京北方微电子基地设备工艺研究中心有限责任公司,未经北京北方微电子基地设备工艺研究中心有限责任公司许可,擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作,请联系【客服】
本文链接:http://www.vipzhuanli.com/pat/books/200710304377.6/1.html,转载请声明来源钻瓜专利网。