[发明专利]一种故障检测的方法和系统有效

专利信息
申请号: 200710304377.6 申请日: 2007-12-27
公开(公告)号: CN101470426A 公开(公告)日: 2009-07-01
发明(设计)人: 陈卓 申请(专利权)人: 北京北方微电子基地设备工艺研究中心有限责任公司
主分类号: G05B19/048 分类号: G05B19/048;H01L21/00
代理公司: 北京集佳知识产权代理有限公司 代理人: 苏培华;逯长明
地址: 100016北京市*** 国省代码: 北京;11
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摘要:
搜索关键词: 一种 故障 检测 方法 系统
【权利要求书】:

1.一种故障检测的方法,其特征在于,包括:

采集多个参数的实时数据;

在采集数据的开始阶段,对于采集的多个参数的实时数据,判断每个参数的实时数据是否超出了基准数据的3倍标准偏差,如果超过,则去除超出该参数的实时数据;

将去除该参数的实时数据后的、其他所述多个参数变换为至少一个参数组合,每个参数组合中至少包括两个参数;

计算得到针对所述参数组合的一个指标参数;

判断该指标参数是否在阈值范围内,如果超过阈值范围,则确认当前时间点出现故障。

2.如权利要求1所述的方法,其特征在于,还包括:

分析确定在当前故障点,对故障贡献度超过阈值的参数组合;

计算得到该参数组合中对主元贡献度超过阈值的参数,确定其为问题参数。

3.如权利要求1所述的方法,其特征在于,还包括:

分析确定在当前故障点,对故障贡献度超过阈值的参数组合;

计算得到该参数组合中对主元贡献度超过阈值的参数;

将在不同参数组合中,对主元贡献度都超过阈值的参数确定为问题参数。

4.如权利要求2或3所述的方法,其特征在于,还包括:

依据所述问题参数确定故障硬件。

5.如权利要求1所述的方法,其特征在于,还包括:

在确定出现故障之后,发出报警和相应提示信息。

6.如权利要求2或3所述的方法,其特征在于,还包括:

在确定问题参数之后,发出报警和相应提示信息。

7.一种故障检测的系统,其特征在于,包括:

数据筛选单元,用于在采集数据的开始阶段,对于采集的多个参数实时数据,判断每个参数的实时数据是否超出了基准数据的3倍标准偏差,如果超过,则去除超出该参数的实时数据;

变换单元,用于将去除该参数的实时数据后的、其他所采集的多个参数的实时数据变换为至少一个参数组合,每个参数组合中至少包括两个参数;

指标计算单元,用于计算得到针对所述参数组合的一个指标参数;

故障判定单元,用于判断该指标参数是否在阈值范围内,如果超过阈值范围,则确认当前时间点出现故障。

8.如权利要求7所述的系统,其特征在于,还包括:

参数组合确定单元,用于分析确定在当前故障点,对故障贡献度超过阈值的参数组合;

参数确定单元,用于计算得到该参数组合中对主元贡献度超过阈值的参数,确定其为问题参数。

9.如权利要求7所述的系统,其特征在于,还包括:

参数组合确定单元,用于分析确定在当前故障点,对故障贡献度超过阈值的参数组合;

参数确定单元,用于计算得到该参数组合中对主元贡献度超过阈值的参数;

问题参数确定单元,用于将在不同参数组合中,对主元贡献度都超过阈值的参数确定为问题参数。

10.如权利要求8或9所述的系统,其特征在于,还包括:

硬件确定单元,用于依据所述问题参数确定故障硬件。

11.如权利要求8或9所述的系统,其特征在于,还包括:

报警单元,直接与参数确定单元相连,用于针对问题参数发出报警和相应提示信息。

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