[发明专利]火焰喷雾热分解薄膜制备设备

权利要求书

1、一种火焰喷雾热分解薄膜制备设备，其特征在于，该设备包括：

火焰喷嘴(1)、下平台(3)、衬底(2)、上平台(8)、燃料供给装置(6)、燃料调节器(11)、雾化装置(5)、雾化调节器(10)、移动调整装置(7)、测温装置(13)和抽气装置(15)构成；

下平台(3)上设有围壁(9)，上平台(8)通过移动调整装置(7)设置在下平台(3)的围壁(9)上，与所述下平台(3)及围壁(9)形成反应室；

上平台(8)上设有火焰喷嘴(1)，火焰喷嘴(1)的喷雾口及火焰口设置在所述反应室内，与下平台(3)上设置的衬底(2)相对应，火焰喷嘴(1)的进料管通过管路及雾化调节器(10)与雾化装置(5)连接；火焰喷嘴(1)的燃料管通过管路及燃料调节器(11)与燃料供给装置(6)连接；

下平台(3)上的衬底(2)处设有测温装置(13)，下平台(3)上设有与所述反应室内部连通的抽气孔(14)，抽气孔(14)与抽气装置(15)连接。

2、根据权利要求1所述的设备，其特征在于，所述火焰喷嘴进一步包括：

火焰喷嘴本体(24)内设有进料管(22)、燃料管(21)、冷却管(25)和回流管(23)；燃料管(21)在火焰喷嘴本体(24)内分为两路，两路燃料管的出焰口与进料管(22)的喷雾口汇聚；冷却管(25)与回流管(23)设在燃料管周围的火焰喷嘴本体(24)上，冷却管(25)与回流管(23)连通。

3、根据权利要求2所述的设备，其特征在于，所述火焰喷嘴还包括：螺旋冷却管(26)，围绕在火焰喷嘴本体(24)出焰口处的燃料管(21)外周围，螺旋冷却管(26)的一端与冷却管(25)连接，螺旋冷却管(26)的另一端与回流管(23)连接。

4、根据权利要求2或3所述的设备，其特征在于，所述设备还包括：

冷却装置(4)，冷却装置(4)的出流口与回流口分别通过管路与所述火焰喷嘴(1)的冷却管(25)与回流管(23)连接。

5、根据权利要求4所述的设备，其特征在于，所述冷却装置(4)为循环水冷装置。

6、根据权利要求1所述的设备，其特征在于，所述火焰喷嘴进一步包括：

火焰喷嘴本体(24)内设有进料管(22)、燃料管(21)；燃料管(21)在火焰喷嘴本体(24)内分为两路，两路燃料管的出焰口与进料管(22)的喷雾口汇聚。

7、根据权利要求1、2、3或6任一项所述的设备，其特征在于，所述火焰喷嘴本体(24)采用耐高温金属材料制备。

8、根据权利要求1所述的设备，其特征在于，所述测温装置为热电偶，热电偶(13)设置在所述下平台(3)上的衬底(2)下面，通过导线与温度计量器(12)连接。

9、根据权利要求1所述的设备，其特征在于，所述燃料调节器(11)、和雾化调节器(10)均采用调节阀。

10、根据权利要求1所述的设备，其特征在于，所述雾化装置(5)采用空气压缩雾化器或超声波雾化器。