[发明专利]甩胶喷雾热分解薄膜制备设备

说明书

技术领域

本发明涉及一种制备薄膜的设备，尤其涉及一种使用甩胶喷雾热分解的 方法制备薄膜的设备。

背景技术

薄膜制备的方法有很多种，如溶胶凝胶法、化学气相沉积、金属有机盐沉 积等化学方法，还包括液相外延、溅射、蒸发等物理方法，现在还常采用一 种喷雾热分解法来制备薄膜，这种方法使用图1所示的设备，用这种方法制 备薄膜时，将配制好的溶液经压缩空气雾化器A4雾化后，在载流气体的带动 下，通过喷嘴A1喷进放置有被加热基板A2的容器中，使雾化体经电热丝A3 加热后挥发去溶剂并一步分解沉积在基板上成膜，在基板上获得光洁明亮的 薄膜。

从上述对现有喷雾热分解法制备薄膜的过程中，发明人发现上述现有技 术至少存在以下问题：

由于喷雾成膜的过程为一层层逐渐进行，因此导致最后形成的薄膜厚度 不均匀，常常出现中间部分已达到厚度要求，而薄膜周边的厚度却未达到要 求，且制备薄膜的速度较慢，因此上述的喷雾热分解法所用的设备无法制备 出厚度均匀符合要求的薄膜，同时存在工作效率不高的缺点。

发明内容

本发明实施方式提供了一种甩胶喷雾热分解薄膜制备设备，该设备可以 方便快速的制备厚度均匀、洁净、不龟裂的薄膜，且可以避免加热装置对甩 胶时转动用的转动装置的影响。

本发明的目的是通过以下技术方案实现的：

本发明实施方式提供了一种甩胶喷雾热分解薄膜制备设备，该设备包 括：

反应室、测温装置、喷嘴、转盘、加热装置、冷却装置、雾化装置、转 动装置、控温装置和抽气装置构成；

固定衬底的转盘设置在转动装置的转轴上，转盘上方设有喷嘴和测温装 置，喷嘴及测温装置与转盘上固定的衬底相对应，转盘、喷嘴及测温装置均 设置在反应室内；

所述喷嘴通过管路与反应室外的雾化装置连接；测温装置与控温装置连 接；

转盘下方的反应室上设有加热装置，加热装置与所述控温装置连接；所 述加热装置与转动装置的机体之间的转轴上设有隔热用的冷却装置；

所述反应室上设有与外部抽气装置连接的抽气孔。

所述反应室包括：

下平台、围壁和上平台，围壁设置在下平台上，上平台设置在所述围壁 上并与下平台相对应，上平台、下平台及围壁共同构成反应室。

所述围壁为石英管。

所述喷嘴与测温装置均设置在反应室的上平台上。

所述加热装置设置在反应室的下平台上，加热装置与下平台上方反应室 内的转盘相对应。

所述抽气孔设置在反应室的上平台或下平台上。

所述冷却装置为水冷装置，水冷装置通过进水管和出水管与循环水箱连 接形成冷却隔热的循环冷却装置。

所述水冷装置为密闭的箱体结构，该箱体结构通过轴承设置在所述的转 轴上，并通过固定件与转动装置的机体固定连接。

所述冷却装置为风冷装置，风冷装置上设有进风口，通过管路与风机的 出风口连接。

所述风冷装置为箱体结构，该箱体结构通过轴承设置在带有多个通风孔 的空心转轴上，该箱体结构通过固定件与转动装置的机体固定连接。

由上述本发明实施例提供的技术方案可以看出，本发明实施方式通过将 转盘设置在转动装置的转轴上，并在转盘上的固定衬底的上方对应设置与雾 化装置连接的喷嘴；转盘下面的反应室上设置加热装置，加热装置与转动装 置机体之间的转轴上设置隔热用的冷却装置形成薄膜制备设备。该设备可以 通过转动装置与喷嘴、雾化装置配合形成甩胶喷雾热分解的方式制备厚度均 匀、洁净的薄膜，由于加热装置直接加热，因此制备的薄膜不会出现龟裂， 在制备过程中还可以通过设置在转盘上方与转盘上设置的衬底处对应的测温 装置方便测得制备薄膜的温度，达到准确控制温度的目的，通过冷却装置可 以将发热装置传导到转轴上的热量散发掉，避免了因转轴导热对转动装置造 成的影响。该设备结构简单、可以方便快速的制备薄膜。

附图说明

图1为现有技术提供的喷雾热分解法制备薄膜的设备的结构示意图；

图2为本发明实施例一的薄膜制备设备的结构示意图；

图3为本发明实施例一中冷却装置为水冷装置的结构示意图；

图4为本发明实施例二的薄膜制备设备的结构示意图。

具体实施方式