[发明专利]一种三氟酸盐-金属有机沉积制备高温超导薄膜的方法有效

专利信息
申请号: 200710304554.0 申请日: 2007-12-28
公开(公告)号: CN101471161A 公开(公告)日: 2009-07-01
发明(设计)人: 丁发柱;李弢;古宏伟 申请(专利权)人: 北京有色金属研究总院
主分类号: H01B13/00 分类号: H01B13/00;H01B12/06;C23C28/00;H01L39/24
代理公司: 北京北新智诚知识产权代理有限公司 代理人: 程凤儒
地址: 10008*** 国省代码: 北京;11
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摘要:
搜索关键词: 一种 三氟酸盐 金属 有机 沉积 制备 高温 超导 薄膜 方法
【权利要求书】:

1.一种三氟酸盐-金属有机沉积制备高温超导薄膜的方法,其特征在于,该方法包括以下步骤:

第一步骤,按照Y∶Ba∶Cu=1∶2∶3的摩尔比例把Y(CH3COO)3、Ba(CH3COO)2和Cu(CH3COO)2混合,室温溶于含20-30摩尔%的三氟乙酸的去离子水中配成溶液;

第二步骤,将上述溶液经回流均匀后,于空气中自然蒸发为凝胶;

第三步骤,将上述凝胶加入甲醇和松油醇的混合液中形成前驱液,制成Y、Ba和Cu三种金属离子浓度为1.0mol/L~1.5mol/L的前驱液,其中,甲醇和松油醇的摩尔比为0.9-1.1∶0.9-1.1;

第四步骤,将上述前驱液涂覆在单晶氧化物或其它适于制备高温超导薄膜的基片上;

第五步骤,在400℃~410℃条件下进行4.0-4.2小时的低温热处理,分解三氟乙酸盐;

第六步骤,进行750~800℃的高温热处理,合成四方相钇钡铜氧薄膜;

第七步骤,490℃~510℃、纯氧条件下对薄膜进行退火热处理,制备成钇钡铜氧高温超导薄膜。

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