[发明专利]基于微机电系统的可堆叠开关模块

权利要求书

1.一种包含至少一个开关模块的系统，其包括：

开关电路(106)，包括至少一个微机电系统开关，用于响应于施加到开关上的门控信号而选择性地建立从开关的输入线路到输出线路的电流路径；

耦合于开关电路以为微机电系统开关提供门控信号的控制电路(110)；以及

耦合于控制电路和开关电路的电源电路(108)，其中该电源电路包括彼此电隔离的输入端子对和输出端子对，其中通过输入端子对接收的模块功率输入信号电气上参考开关的输入线路，并且通过输出端子对提供的模块功率输出信号电气上参考开关的输出线路，使得当所述开关设置到打开状态时，模块输出功率信号不受在微机电系统开关的输入和输出线路两端形成的电压的影响。

2.权利要求1的系统，其中，控制电路包括彼此电隔离的输入端子对和输出端子对，其中通过输入端子对接收的模块控制输入信号电气上参考开关的输入线路，并且通过输出端子对提供的模块控制输出信号电气上参考开关的输出线路，使得当所述开关设置到断开状态时，模块控制输出信号不受在微机电系统开关的输入和输出线路两端形成的电压的影响。

3.权利要求1的系统，其中控制电路包括连接的驱动电路以接收电气上参考开关的输入线路的模块控制输入信号，以产生施加到开关上的门控信号，其中所述门控信号电气上参考开关的输入线路。

4.权利要求2的系统，包括多个以串联电路相互耦合的开关模块，其中来自相应开关模块的模块功率输出信号包括到串联电路中下一个开关模块的模块功率输入信号。

5.权利要求4的系统，其中来自所述相应开关模块的模块控制输出信号包括到串联电路中该下一个开关模块的模块控制输入信号。

6.权利要求1的系统，进一步包括以并联电路与开关电路耦合的分级电阻器(404)，以在其中提供阻性泄漏电流的路径。

7.权利要求6的系统，进一步包括以并联电路与开关电路耦合的分级电容器(402)，以延迟瞬态恢复电压的开始。

8.权利要求7的系统，进一步包括以并联电路与开关电路耦合的非线性分级电阻器(406)，以消耗瞬态电压冲击。

9.权利要求1的系统，其中开关电路包括以并联电路彼此耦合的多个微机电开关。

10.一种包括以串联电路彼此耦合的多个开关模块的系统，每个开关模块包括：

开关电路(106)，包括至少一个微机电系统开关，用于响应于施加到开关上的门控信号而选择性地建立从开关的输入线路到输出线路的电流路径；

耦合于开关电路以为微机电系统开关提供门控信号的控制电路(110)，其中该控制电路包括彼此电隔离的输入端子对和输出端子对，其中通过输入端子对接收的模块控制输入信号电气上参考开关的输入线路，并且通过输出端子对提供的模块控制输出信号电气上参考开关的输出线路，这样当所述开关设置到断开状态时，模块控制输出信号不受在微机电系统开关的输入和输出线路两端形成的电压的影响，其中来自相应开关模块的模块控制输出信号包括到串联电路中下一个开关模块的模块控制输入信号；

耦合于控制电路和开关电路的电源电路(108)，其中该电源电路包括彼此电隔离的输入端子对和输出端子对，其中通过输入端子对接收的模块功率输入信号电气上参考开关的输入线路，并且通过输出端子对提供的模块功率输出信号电气上参考开关的输出线路，使得当所述开关设置到断开状态时，模块输出功率信号不受在微机电系统开关的输入和输出线路上形成的电压的影响，其中来自相应开关模块的模块功率输出信号包括到串联电路中的该下一个开关模块的模块功率输入信号；以及

以并联电路与该多个开关模块耦合的电压分级网络(30)，以在该多个开关模块的每一个上提供基本相等的电压分布。