[发明专利]芯片装配装置无效
申请号: | 200710305592.8 | 申请日: | 2007-12-27 |
公开(公告)号: | CN101471267A | 公开(公告)日: | 2009-07-01 |
发明(设计)人: | 黄明鸿;杜水年 | 申请(专利权)人: | 东捷科技股份有限公司 |
主分类号: | H01L21/58 | 分类号: | H01L21/58 |
代理公司: | 中科专利商标代理有限责任公司 | 代理人: | 周国城 |
地址: | 台湾省*** | 国省代码: | 中国台湾;71 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 芯片 装配 装置 | ||
1.一种芯片装配装置,其特征在于包含有:
一基座;
二料盘槽组,设于该基座,各该料盘槽组的开口朝上,供置入多个料盘,各该料盘内可置入多个芯片;
二交接转盘,底部分别通过一旋转驱动器设于该基座,且分别位于各该料盘槽组前方,各该交接转盘具有二以上的承盘部;
二料盘移载器,设于该基座,且分别位于一该料盘槽组与一该交接转盘之间,用以将前述料盘在该二料盘槽组与该二交接转盘之间往返运送;
二吸/压头,通过一横向驱动器设于该基座,且位于该二交接转盘的前方,受该横向驱动器的驱动于该基座上左右位移;
二芯片移载器,设于该基座,且分别位于一该交接转盘与一该吸/压头之间,用以将位于该二交接转盘上的料盘上的芯片往前运送至该二吸/压头下方;以及
一面板承载台,可左右位移地设于该基座,且位于该二芯片移载器前方,用以承载面板;
其中,该二吸/压头是取用该二芯片移载器上的芯片,并施用在位于该面板承载台上的面板。
2.依据权利要求1所述的芯片装配装置,其特征在于:各该料盘槽组是由一入料盘槽以及一出料盘槽所组成。
3.依据权利要求2所述的芯片装配装置,其特征在于:各该入料盘槽以及各该出料盘槽具有一夹持机构,通过该夹持机构来对置于其内的料盘进行夹持;各该料盘移载器具有一推顶托盘,由各该入料盘槽以及各该出料盘槽的底部取/放料盘。
4.依据权利要求3所述的芯片装配装置,其特征在于:各该交接转盘具有四承盘部,各该承盘部呈分叉状,而于中央具有一镂空部位。
5.依据权利要求4所述的芯片装配装置,其特征在于:该二吸/压头分别通过一垂直驱动器设于一固定板上,而可受驱动上下位移,该固定板是设于该横向驱动器。
6.依据权利要求5所述的芯片装配装置,其特征在于:该芯片移载器具有一以上的螺杆/滑轨组,于该螺杆/滑轨组上设有一旋转取放头,该旋转取放头本身具有旋转功能,其旋转位置包含了一朝下位置以及一朝上位置,且该旋转取放头于该螺杆/滑轨组上前后往复位移。
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H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置;专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理;集成电路器件或其特殊部件的制造