[发明专利]基板运送装置无效
| 申请号： | 200710305617.4 | 申请日： | 2007-12-26 |
| 公开（公告）号： | CN101468758A | 公开（公告）日： | 2009-07-01 |
| 发明（设计）人： | 郑瑞忠 | 申请（专利权）人： | 元太科技工业股份有限公司 |
| 主分类号： | B65G49/06 | 分类号： | B65G49/06;B65G47/91;B65G1/04;H01L21/677 |
| 代理公司： | 北京律诚同业知识产权代理有限公司 | 代理人： | 梁 挥;祁建国 |
| 地址： | 台湾省新竹市*** | 国省代码： | 中国台湾;71 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 运送 装置 | ||
【权利要求书】：
1、一种基板运送装置，其特征在于，包含：
一基台；
数个叉架，平行设置于该基台的侧面；以及
数个结件，分布于该些叉架上。
2、根据权利要求1所述的基板运送装置，其特征在于，每一该些结件均为一真空吸盘。
3、根据权利要求2所述的基板运送装置，其特征在于，还包含：
一侦测器，用以侦测该些叉架上是否承载有至少一基板；以及
一驱动器，用以在该侦测器侦测到该些叉架上承载有该基板时，驱动该些真空吸盘吸附该基板。
4、根据权利要求1所述的基板运送装置，其特征在于，该些叉架为抗静电材质件。
5、根据权利要求1所述的基板运送装置，其特征在于，每一该些叉架上均具有数个孔洞。
6、一种基板运送装置，其特征在于，包含：
一基台；
数个叉架，设置于该基台的侧面，且该些叉架彼此间隔一垂直高度；以及
数个结件，分布于该些叉架上。
7、根据权利要求6所述的基板运送装置，其特征在于，每一该些结件均为一真空吸盘。
8、根据权利要求7所述的基板运送装置，其特征在于，还包含：
一侦测器，用以侦测该些叉架上是否承载有至少一基板；以及
一驱动器，用以在该侦测器侦测到该些叉架上承载有该基板时，驱动该些真空吸盘吸附该基板。
9、根据权利要求6所述的基板运送装置，其特征在于，该些叉架为抗静电材质件。
10、根据权利要求1所述的基板运送装置，其特征在于，每一该些叉架上均具有数个孔洞。
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