[发明专利]制造用于液晶显示器件的阵列基板的方法

权利要求书

1.一种制造用于液晶显示器件的阵列基板的方法，包括：

在基板上形成栅极线、与栅极线交叉的数据线以及与栅极线和数据线相连的薄膜晶体管；

在栅极线、数据线和薄膜晶体管上形成有机绝缘材料层，该有机绝缘材料具有光固化性、柔韧性和动态稳定性；

在有机绝缘材料层上方设置具有凸起部分的印模；

将该凸起部分插入该有机绝缘材料层内以利用反润湿现象将有机绝缘材料层从凸起部分推出；

将紫外射线辐射在有机绝缘材料层上以固化该有机绝缘材料层；

从有机绝缘材料层去除印模以形成具有漏极接触孔的钝化层，该漏极接触孔暴露薄膜晶体管的漏极；以及

在钝化层上形成像素电极，该像素电极通过漏极接触孔与漏极相连。

2.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，由于所述凸起部分和有机绝缘材料层下面的漏极的接触产生反润湿现象。

3.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，所述印模具有小于大约25mJ/m²的表面能量并且所述有机绝缘材料层具有小于大约40mN/m的表面张力。

4.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，所述印模包括第一透明材料的底板和位于该底板上的第二透明材料的凸起部分。

5.根据权利要求4所述的方法，其特征在于，所述第一透明材料包括玻璃、石英和聚氨酯丙烯酸酯(PUA)中的一种。

6.根据权利要求5所述的方法，其特征在于，所述底板包含与该凸起部分相同的材料。

7.根据权利要求6所述的方法，其特征在于，所述凸起部分具有四角锥形、正四面体形和圆锥形之一的形状。

8.根据权利要求7所述的方法，其特征在于，所述凸起部分和有机绝缘材料层满足关系：

当凸起部分具有具备高度h的四边形时，h＞3d；

当凸起部分具有具备边长s的正四面体形时，s>36d;]]>

以及

当凸起部分具有具备高度h的圆锥形时，h＞12d/π，

其中有机绝缘层具有厚度d。

9.根据权利要求5所述的方法，其特征在于，所述第二透明材料的凸起部分具有弹性。

10.根据权利要求9所述的方法，其特征在于，所述凸起部分具有四角锥形、正四面体形、圆锥形、截取的四角锥形、截取的三角锥形和截取的圆锥形中的一种形状。

11.根据权利要求9所述的方法，其特征在于，所述第二透明材料包括聚二甲基硅氧烷(PDMS)。

12.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，所述将凸起部分插入有机绝缘材料层的步骤包括：

朝印模移动基板；和

利用压力朝基板按压印模。

13.根据权利要求12所述的方法，其特征在于，所述压力大于大约0ATM并小于大约10ATM。

14.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，设置所述印模的步骤包括在印模的边界利用支撑单元支撑印模。

15.根据权利要求14所述的方法，其特征在于，在所述印模与支撑单元分离之后执行辐射紫外射线的步骤。