[发明专利]感光性膜的剥离装置及剥离方法

说明书

技术领域

本发明涉及将层叠有支承层和至少感光材料层的感光性膜(感光性ウエブ)以所述感光材料层侧朝向基板的方式与所述基板粘接后，使所述支承层与在所述基板间露出的所述感光性膜的一部分一体地从所述基板上剥离的感光性膜的剥离装置及剥离方法。

背景技术

例如，在液晶面板用基板、印刷布线用基板、PDP面板用基板中，构成为在基板表面贴附具有感光材料(感光性树脂)层的感光性片体(感光性膜)的结构。感光性片体在挠性塑料支承体上依次层叠感光材料层和保护膜。

因此，在此种感光性片体的贴附中使用的贴附装置(层压装置)，通常采用在以规定的间隔使玻璃基板或树脂基板等基板隔开并进行搬送的同时，对应于在所述基板上贴附的感光材料层的范围，从所述感光性片体上剥离保护膜的方式。

例如，已知一种在JP特开2003-337411号公报中公开的感光层转印装置。此感光层转印装置包括：基板供给单元，按固定间隔供给基板；薄膜前处理单元，对准所述基板的转印区域，切断感光层及保护膜(覆盖膜)，仅剥离此切断的所述转印区域的覆盖膜；热压接单元，向来自所述基板供给单元的基板供给被所述薄膜前处理单元剥离了保护膜的叠层体膜，使被剥离了所述保护膜的感光层区域和所述转印区域一致，在所述转印区域上热压接所述感光层区域；预备剥离单元，在通过所述热压接单元热压接有叠层体膜的各基板之间，向从基板上剥离叠层体膜的方向按压，至少剥离保护膜和基板；以及剥离单元，从基板上剥离构成所述叠层体膜的支承体。

由此，由于在各基板间，至少预先使保护膜和基板剥离，所以能够使所述保护膜稳定地与支承体一起被剥离，能够防止其在工序内落下，成为不良异物，或者残留在所述基板上，导致该基板的搬送异常和品质异常。

发明内容

本发明涉及此种支承层(支承体)的剥离，其目的在于，提供一种感光性膜的剥离装置及剥离方法，能够以简单的结构及工序，良好且高品质地执行向基板上的层压处理，使层压精度提高。

本发明涉及一种感光性膜的剥离装置及剥离方法，在将层叠有支承层和至少感光材料层的感光性膜以所述感光材料层侧朝向基板的方式与所述基板粘接后，使所述支承层与在所述基板间露出的所述感光性膜的一部分一体地从所述基板上剥离。

剥离装置包括：预剥离部，其在从基板上剥离支承层前，按压在所述基板间露出的感光性膜的一部分，从所述基板上剥离所述感光性膜的一部分；剥离夹具，其配置在所述预剥离部的下游，将所述支承层与所述感光性膜的一部分一体地从所述基板上剥离；以及剥离夹具移动部，其在至少暂且使所述基板的搬送停止时，使所述剥离夹具至少向基板搬送方向或所述基板搬送方向的相反方向移动。

而且，优选在剥离夹具的下游设置至少向基板喷出除电气体的除电机构。

此外，剥离方法具有在将支承层与感光性膜的一部分一体地从基板上剥离之前，按压在暂且停止搬送的所述基板间露出的所述感光性膜的一部分，使所述感光性膜的一部分从所述基板上剥离的预剥离工序，并且，在至少暂且使所述基板的搬送停止时，使所述剥离夹具至少向基板搬送方向或所述基板搬送方向的相反方向移动。

在本发明中，由于通过预剥离部剥离在基板间露出的感光性膜的一部分，所以能够通过剥离夹具容易且可靠地将支承层与所述感光性膜的一部分一起从所述基板上剥离。

而且，在至少暂且使所述基板的搬送停止时，使剥离夹具向基板搬送方向或相反方向移动。因此，剥离夹具不维持局部地压接在停止的基板上的感光性膜上的状态，例如，能够可靠地阻止在所述感光性膜中产生条纹(スジ)等。由此，能够以简单的结构及工序，良好地且高品质地执行向基板上的层压处理，提高层压精度。

在参照附图说明以下的优选实施方式例后，将会更加明确所述目的、特征及优点。

附图说明

图1是组合本发明的实施方式的剥离装置的感光性叠层体的制造装置的简要结构图。

图2是在所述制造装置中使用的长条状感光性膜的剖面图。

图3是将粘接标签粘接在所述长条状感光性膜上的状态的说明图。

图4是基底自动剥离装置的结构说明图。

图5是所述基底自动剥离装置的侧面说明图。

图6是从所述感光性膜上剥离保护膜时的说明图。

图7是说明本发明的剥离方法的时间图。

图8是预剥离部的动作说明图。

具体实施方式

图1是组合本发明的实施方式的剥离装置的感光性叠层体的制造装置20的简要结构图。