[发明专利]大运动范围宏微双重驱动定位平台

权利要求书

1.大运动范围宏微双重驱动定位平台，包括下平台基座(1)以及设置在下平台基座(1)上的上平台基座(5)，其特征在于：上平台基座(5)上经线切割加工有微动工作平台(7)，下平台基座(1)的两侧设置有平行导轨(3)，上平台基座(5)通过滚动导轨副(4)安装在平行导轨(3)上，直线电机定子(2)固定于下平台基座(1)上，直线电机动子(14)通过直线电子动子连接架(15)与上平台基座(5)相连，在下平台基座(1)的一侧安装有光栅尺(10)，与光栅尺(10)相配合的光栅尺读数头(8)通过连接架(9)与微动工作平台(7)相连，微动工作平台(7)的四周开有框形直通槽，微动工作平台(7)上还开设有安装Y向压电驱动器(6)、X向压电驱动器(12)的Y向压电驱动器定位槽(17)和X向压电驱动器定位槽(23)，且在微动工作平台(7)还开设有安装承载平台的固定螺孔(25)。

2.根据权利要求1所述的大运动范围宏微双重驱动定位平台，其特征在于：所说的下平台基座(1)上还设置有光栅尺固定架(11)，光栅尺(10)通过光栅尺固定架(11)固定在下平台基座(1)上。

3.根据权利要求1所述的大运动范围宏微双重驱动定位平台，其特征在于：所说的下平台基座(1)还设置有两个起限位保护作用的机械限位装置(13)。

4.根据权利要求1所述的大运动范围宏微双重驱动定位平台，其特征在于：所说的上平台基座(5)上有开设有直线电机动子固定沉孔(26)和导轨副沉孔(16)，直线电机动子(14)的安装连接架(15)及导轨副(4)分别通过直线电机动子固定沉孔(26)和导轨副沉孔(16)与上平台基座(5)相连。

5.根据权利要求1所述的大运动范围宏微双重驱动定位平台，其特征在于：所说的微动工作平台(7)四周开设的框形直通槽的宽度为2mm。

6.根据权利要求1所述的大运动范围宏微双重驱动定位平台，其特征在于：所说的Y向、X向压电驱动器(6、12)分别位于前挡块(27)和后挡块(28)之间，前挡块(27)为一圆弧结构，分别与Y向、X向压电驱动器定位槽(17、23)中的圆弧相切起到定位作用，Y向、X向压电驱动器预紧螺孔(18、24)中的螺钉顶在后挡块(28)上固定预紧。

7.根据权利要求1所述的大运动范围宏微双重驱动定位平台，其特征在于：所说的X向上，微动工作平台(7)上开设有柔性铰链机构，该柔性铰链机构包括五个柔性铰链(21)和三个柔性铰链臂(22)。

8.根据权利要求1所述的大运动范围宏微双重驱动定位平台，其特征在于：所说的Y向上，微动工作平台(7)上开有的两个对称的柔性铰链机构，每个柔性铰链机构包括六个柔性铰链(20)和三个柔性铰链臂(19)。