[实用新型]用于电镀机的传送系统无效
申请号: | 200720002160.5 | 申请日: | 2007-01-29 |
公开(公告)号: | CN201080507Y | 公开(公告)日: | 2008-07-02 |
发明(设计)人: | 黄志荣;李家立;陈嘉文 | 申请(专利权)人: | 亚洲电镀器材有限公司 |
主分类号: | C25D17/28 | 分类号: | C25D17/28 |
代理公司: | 北京纪凯知识产权代理有限公司 | 代理人: | 程伟 |
地址: | 中国香港新界*** | 国省代码: | 中国香港;81 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 用于 电镀 传送 系统 | ||
1.一种用于电镀机的传送系统,其特征在于包括:至少两个处理槽,其彼此平行布置并且适于执行相同处理过程;第一传送单元,其在所述处理槽的上游并且适于选择性地将衬底传送到所述至少两个处理槽的任意一个;和第二传送单元,其在所述处理槽的下游并且适于选择性地接收在所述至少两个处理槽的任意一个中被处理的衬底。
2.根据权利要求1所述的传送系统,其进一步特征在于,每个所述传送单元具有适于沿着与所述处理槽中的所述至少一个衬底的移动方向相垂直的方向移动的轨道。
3.根据权利要求1所述的传送系统,其进一步特征在于,每个所述传送单元由电机驱动。
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