[实用新型]中空旋转平台减速器

说明书

技术领域

本实用新型涉及一种减速器，尤其涉及一种直接结合承盘并达到稳定驱动功效的中空旋转平台减速器。

背景技术

现有的减速器作为中介，借由内部所设各个齿轮之间的齿数比，使马达所输出的高转速降低后，再输出作为驱动装置。

上述种类的减速器如中国台湾专利证书号第M242613号「减速器改良结构」新型专利案，或者如中国台湾专利公告号468737号「泛用型中空轴齿轮减速机」新型专利案，皆设有一输出端、一输入端，并且内部于输出输入端之间设有减速齿轮组，借此将马达的高转速降低后，再输出作为驱动装置。

然而上述的减速器使用于驱动晶圆设备等需要精密度以及稳定的装置时，由于输出端是以皮带或链条等传动件连动工作物承盘旋转，因此其中造成损耗而产生较大的震动，造成生产上的问题，加上一般减速器所选用的轴承较不具轴径向负载的稳定特性，使得传动的稳定性以及精密度更大打折扣。

由于现有减速器是以间接的方式带动装置，并且选用的轴承较不具稳定性，因此在驱动晶圆设备等需要精密度以及稳定的装置时，会产生震动以及不精确的问题，造成生产良率上的困扰。

实用新型内容

本实用新型所要解决的主要技术问题在于，克服现有技术存在的上述缺陷，而提供一种中空旋转平台减速器，其具有直接驱动晶圆设备以及驱动时稳定的功效。

本实用新型解决其技术问题所采用的技术方案是：

一种中空旋转平台减速器，其特征在于，包括一基座，分别组装设于该基座内的一从动轴、一交叉滚子轴承、一减速传动件以及一主动轴，其中：该基座为水平设置的板块，其内部形成一容室，该容室包括一于顶端开口的输出装设部、一于底端开口的输入装设部，以及一位于输出装设部与输入装设部之间而与两者相通的中介装设部；该从动轴垂直设置于该输出装设部，于该从动轴顶端的部分形成一结合构造；该交叉滚子轴承是结合于该从动轴与该输出装设部的周壁之间；该减速传动件是枢设于该中介装设部并与该从动轴啮合；该主动轴是垂直枢设于该输入装设部并与该减速传动件啮合，于该主动轴的底端部分形成一供马达结合的联结构造。

前述的中空旋转平台减速器，其中从动轴对应所述中介装设部而于周围形成一从动齿轮，所述减速传动件设有一轴杆，该轴杆垂直枢设于所述中介装设部，该轴杆于一侧对应该从动齿轮形成一小齿盘，以小齿盘与从动齿轮啮合，该轴杆于另一侧形成一大齿盘，所述主动轴对应该大齿盘而于周围形成一主动齿轮，以该主动齿轮与该减速传动件的大齿盘啮合。

前述的中空旋转平台减速器，其中从动轴的顶端伸出所述基座的顶面，所述结合构造是数个环绕而间隔形成于该从动轴顶面的螺孔。

当本实用新型使用时，是以基座穿置结合于一基础板，将一马达结合于输入装设部的底部，使马达的轴杆结合于主动轴的联结构造，并将一工作物承盘结合于从动轴顶部的结合构造，当马达启动时，带动主动轴经由减速传动件减速后驱动从动轴旋转，使结合于从动轴的工作物承盘转动。

本实用新型由于是以从动轴直接结合带动工作物承盘等需要驱动旋转的装置或构造旋转，因此中间不会经过皮带或链条等传动件的损耗，具有直接传动而旋转动作较为稳定的功效。并且本实用新型受益于交叉滚子轴承的轴向径向负载佳且动作精确等特性，使得从动轴在转动的过程中能够稳定地旋转且负载较大，为使用者提供一种稳定不震动以及精确的减速器。

附图说明

下面结合附图和实施例对本实用新型进一步说明。

图1是本实用新型较佳实施例的立体外观示意图。

图2是本实用新型较佳实施例的立体分解示意图。

图3是本实用新型较佳实施例的剖面图。

图4是本实用新型较佳实施例的装设实施示意图。

图中标号说明：

10基座            11底板

1111嵌放部        1112下密封环

112下嵌槽         1121轴承

113穿孔           1131固接肩部

12顶盖            121顶孔

1211轴承          122上嵌槽

1221轴承          123第三嵌槽

1231轴承          124锁孔

13锁固环          131上嵌放部

132上密封环       14容室

141输出装设部     142中介装设部

143输入装设部     20从动轴