[实用新型]电子能谱仪样品分析前处理装置

权利要求书

1.电子能谱仪样品分析前处理装置，其特征在于设有：

手套箱，手套箱上设有箱侧门、进气口、出气口、导入反应气体口、导入反应液体口、观察窗、电子能谱仪接口和真空压力表，电子能谱仪接口外接电子能谱仪，进气口外接补气源，导入反应液体口外接反应液体源；

预备室，预备室上设有侧门、可抽真空的进气口、可抽真空的出气口和真空压力表，预备室与手套箱连成一体，可抽真空的进气口外接补气源；

手套机构，手套机构与手套箱连接，手套机构上设有进气口和出气口，进气口外接补气源；

真空泵，真空泵与手套箱的出气口连接，真空泵与预备室的可抽真空的出气口连接，真空泵与手套机构的出气口连接；

原位反应池，原位反应池设于手套箱内，原位反应池上设有电源接口、热电偶接口、导入气体接口和导出气体接口，电源接口外接电源，热电偶接口外接热电偶，导入气体接口接手套箱的导入反应气体口，导出气体接口接手套箱的出气口。

2.如权利要求1所述的电子能谱仪样品分析前处理装置，其特征在于在手套箱上设照明装置。

3.如权利要求1所述的电子能谱仪样品分析前处理装置，其特征在于在手套箱上设封装真空法兰。