[实用新型]一种超高真空手、气动闸板阀密封装置

说明书

技术领域

本实用新型涉及一种应用在超高真空手、气动闸板阀密封装置。

背景技术

国内的超高真空闸板阀的密封件装置技术水平比较低，普遍采用银丝或铜丝密封阀体后端，由于使用银丝或铜丝密封的缘故，使得当阀门出现故障需要维修时，不能单独把阀门从其用银丝或铜丝密封的部分拆开进行维护，需把阀门从整个设备上拆下进行维修，从而使维修工作量加大，维修周期变长，影响整个设备恢复正常运转。而且由于不能越过国外产品的技术专利保护，因此，其技术水平一直在低位徘徊。虽然国内的产品价格低廉，约为1万左右，但由于技术含量不高，不能符合各个新型高科技行业的需求，因此老式的真空闸板阀的销售量在逐年下降。

近年来，随着半导体制造业和大平板显示器制造在我国的蓬勃发展，国内外的制造生产线纷纷上马，更是增加了国内对于应用于半导体和平板显示器加工制造上的无尘超高真空系统设备的需求。而适用于无尘超高真空系统的超高真空闸板阀则是系统组成的关键部分，为此，研发一种能够适应需求的新型超高真空闸板阀密封件装置迫在眉睫。

实用新型内容

本实用新型的目的在于提供一种超高真空手、气动闸板阀密封装置。

为实现上述目的本实用新型采用的技术方案为：超高真空手、气动闸板阀密封装置，包括上阀板、下阀板、驱动装置及阀体，阀体内设有阀板架，上、下阀板分别安装在阀板架的两侧，上阀板内圆周壁设有密封圈，上、下阀板与阀板架相对的表面均开有雨点状凹槽，置有滚珠；阀板架的一端设有定位轴，另一端设有轴承，驱动装置经轴承与阀板架相连接，阀板架的两侧及连接上阀板的一面设有导向轴承，上阀板及下阀板上均设有凹槽，凹槽上固接有挡杆，挡杆上连接有板簧，上阀板及下阀板经定位轴通过板簧相连接；阀板架上在圆孔的外围均布有多个滚珠架，密封圈(2)设置在阀体(1)上的第一、第二密封法兰(3、4)内。所述阀体(1)上的第一密封法兰(3)内设置多个定位销(5)，密封圈(2)紧固在定位销(5)外侧。所述第一、第二密封法兰(3、4)通过密封螺栓(7)固定。所述定位销(5)内部中空、内壁螺纹状，并配有起销螺栓(6)，定位销(5)设在第一密封法兰(3)上，其高度为3毫米。所述第一、第二密封法兰(3、4)厚度为10-22毫米。所述密封螺栓(7)间距40-50毫米。在密封件和密封法兰之间安装四个定位销，定位销中空，内壁加工螺纹，材料与密封法兰不同，例如黄铜，紫铜等诸如此类；销孔加工在密封法兰上，有效深度在理论尺寸允许的条件下大于销孔的长度，尺寸公差选用小间隙配合；密封件紧固在定位销外侧，密封法兰压紧时定位销没入销孔中，维修时旋入起销螺栓即可取出定位销。达到了可以在任意位置安装，不影响密封，简化加工工艺，降低加工成本的目的。

本实用新型所具有的优点：

本实用新型使密封圈可任意位置安装在密封装置中，尤其适用真空行业中超高真空闸板阀的密封。其中密封件可根据银丝定位销的不同位置任意安置于密封法兰中，进行维修无需把阀门从整个设备上拆下，从而使维修工作量减小，维修周期变短，不影响整个设备恢复正常运转，结构简单。同时，通过巧妙的设计，不影响密封，简化了加工工艺，降低了加工成本。

附图说明

图1a是本实用新型的装配简图的主视图。

图1b是本实用新型的装配简图的左视图。

图1c是本实用新型的装配简图的仰视图。

图2是本实用新型的轴侧图。

图3是密封法兰的轴侧图。

图4是定位销轴剖视图。

标号为：1.阀体，2.密封圈，3.第一密封法兰，4.第二密封法兰，5.定位销，6.起销螺栓，7.密封螺栓。

具体实施方式

下面结合附图对本实用新型作进一步详述。

如图1-4所示，本实用新型在包括包括上阀板、下阀板、驱动装置及阀体，阀体内设有阀板架，上、下阀板分别安装在阀板架的两侧，上阀板内圆周壁设有密封圈，上、下阀板与阀板架相对的表面均开有雨点状凹槽，置有滚珠；阀板架上开有圆孔，圆孔的两侧设有限位下阀板的限位轴承，阀板架的一端设有定位轴，另一端设有轴承，驱动装置经轴承与阀板架相连接，阀板架的两侧设有导向轴承，上阀板及下阀板上均设有凹槽，凹槽上固接有挡杆，挡杆上连接有板簧，上阀板及下阀板经定位轴通过板簧相连接；阀体1上的第一密封法兰3和与之相连的第二密封法兰4内设置有密封圈2。