[实用新型]方形基片涂胶单元中的自动扣盖机构

说明书

技术领域：

本实用新型涉及方形基片涂胶领域，具体为一种方形基片涂胶单元中的自动扣盖机构，应用于方形基片(如光刻掩膜板、平板显示器)涂胶工艺中涂胶腔体自动扣盖和开启功能。

背景技术：

方形基片涂胶有多种方法，旋转涂胶是目前最常用有效的涂胶方式，在平板显示器制造中广泛采用，能保证获得较高的胶膜均匀性。基本原理是将少量胶液沉积在基片中央，接着以高速旋转，离心力将使胶液散开，最后覆盖整个基片。也可以在滴胶过程中基片先低速旋转(通常200r/min)使光刻胶在基片表面慢慢摊开，然后加速，高速旋转一定时间直到表面覆盖一定厚度的胶膜。其不足之处在于：由于方形基片直接与外界接触，胶液挥发较快，容易变干，达不到方形基片的均匀涂胶的要求。

实用新型内容：

本实用新型的目的在于提供一种方形基片涂胶单元中的自动扣盖机构，解决方形基片的均匀涂胶等问题。

本实用新型的技术方案是：

一种方形基片涂胶单元中的自动扣盖机构，该自动扣盖机构设有内盖和外盖两层盖结构，外盖中心开孔，其上表面设有定位销子I；内盖中心通过连接件穿过外盖中心孔连有定位板，定位板通过其上开设的销孔与外盖上的定位销子I相对应；方形基片涂胶单元的承片台上安装旋转盖板，旋转盖板表面设有定位销子II，内盖通过其上开设的销孔与旋转盖板上的销子II相对应。

所述的自动扣盖机构，外盖与气缸相连。

所述的自动扣盖机构，在连接承片台的主轴上装有定位盘。

所述的自动扣盖机构，定位盘上开有缺口，定位气缸设置于定位盘侧面，定位气缸通过其一端安装的轴承与缺口对应。

本实用新型的有益效果是：

1、本实用新型在方形基片涂胶工艺中，为了得到除基板边缘2～3mm边框以外均匀的一层胶膜，在旋转涂胶过程中，承片台上扣有内盖，把基片夹在中间然后一起旋转，其作用是可以使胶液挥发延缓，胶液在旋转过程中可充分扩散，完成均匀涂胶。

2、本实用新型方形基片涂胶单元中的自动扣盖机构采用了两层盖结构(内盖和外盖)，外盖扣在涂胶腔体上，内盖可通过销子和承片台扣在一起，整个扣盖机构由一气缸驱动上下运动，可以完成自动扣盖和开启动作。

3、本实用新型在连接承片台的主轴上装有定位盘，可以使承片台在内盖、外盖上升和下降过程中固定不能转动，从而保证整个过程顺利运行。

附图说明：

图1为本实用新型方形基片涂胶单元中的自动扣盖机构示意图(初始位置)。

图2为本实用新型方形基片涂胶单元中的自动扣盖机构示意图(扣下位置)。

图3为本实用新型主轴定位结构示意图。

图4为本实用新型方形基片涂胶工艺示意图。

图中，1涂胶腔体；2主轴；3承片台；4旋转盖板；5基片；6内盖；7外盖；8定位盘；9销子I；10销子II；11定位板；12气缸；13缺口；14轴承；15定位气缸。

具体实施方式：

如图1-2所示，为实现在承片台上自动扣盖和开启功能，本实用新型方形基片涂胶单元中的自动扣盖机构采用了两层盖结构(内盖6和外盖7)。外盖7中心开孔，其上表面设有定位销子I9；内盖6中心通过连接件穿过外盖7中心孔连有定位板11，定位板11通过其上开设的销孔与外盖7上的定位销子I9相对应，并配合使用，定位板11可以扣在外盖7上；方形基片涂胶单元的承片台3上安装旋转盖板4，旋转盖板4表面设有定位销子II10；外盖7扣在方形基片涂胶单元的涂胶腔体1上，内盖6通过其上开设的销孔与旋转盖板4上的销子II10相对应，并配合使用，内盖6可以扣在承片台3上安装的旋转盖板4上；气缸12与外盖7相连，整个自动扣盖机构由气缸12驱动上下运动。另外，在连接承片台3的主轴2上可以装有定位盘8。

初始状态时内盖6和外盖7在上位，内盖6的上端和外盖7套在一起，通过3个销子I9固定位置。当内盖6和外盖7扣下时，由于内盖6在下，会先碰到承片台3，旋转盖板4上的销子II10插入内盖6的销孔中，从而使承片台3通过旋转盖板4和内盖6固定在一起；此时，由于外盖7还没有碰到涂胶腔体1上沿，所以在气缸12驱动下继续向下运动，从而使外盖7上的销子I9逐步从与内盖6连接的定位板11销孔中脱出，当外盖7扣在涂胶腔体1上沿而停止运动后，内盖6和外盖7就会分离开。这样，内盖6就可以和承片台3上的旋转盖板4扣在一起旋转完成方形基片5的涂胶工艺了。在开盖时，气缸带动内盖6和外盖7向上运动，外盖7的销子I9重新插入与内盖6连接的定位板11销孔中，将内盖6提起，使内盖6和承片台3分开，从而完成开盖动作。