[实用新型]XY轴直线型真空调频机

说明书

一、技术领域

本实用新型涉及一种真空调频机，属于电子行业-真空调频设备技术领域。

二、背景技术

现有韩国、美国真空调频机，其工作原理为被调频体通过电机工作带动调频圈旋转，频率计即时对调频体进行频率侦测，调频体通过获取银量的多少，频率由高向低调整，调整至合格范围为合格品。现有技术存在的问题是调频机在动作方面都是以电机带动调频圈旋转，使之转到被调整位置上，工作效率不高，最多的调频机只有144个工位，一个调频周期在15分钟左右，这种技术已经是在本领域里最高的工作效率。

上述调频机为一个电机带动多个齿轮使调频圈旋转，而且电机装于真空室外，无论是机械结构或工作原理都很复杂，涉及许多密封工艺，密封件、齿轮、轴承等寿命都很短，经常需要更换。

上述调频机的被调频体在调频圈上垂直放置，调频圈的机械结构相当复杂，成本也很高；测试被调频体时，接触方式为弹簧片式，此种方式运动速度慢，影响工作效率。

其工作流程：

当真空室内真空度到一定数值，电极加热，由电机带动调频圈转动，测试每个被调频体的频率，留存数值做参考，逐个调整被调频体频率，将被调频体调整到合格范围。用时15分钟～20分钟，每个调频圈可承载144个被调频体。

三、发明内容

本实用新型的目的在于解决上述已有技术存在的不足之处，提供一种能够提高调频机在单位时间内工作效率的XY轴直线型真空调频机。

本实用新型的XY轴直线型真空调频机，通过以下技术方案实现：

XY轴直线型真空调频机，特殊之处在于，包括由底版3、真空室壁19、上盖板20构成的真空室，真空室内设有连接带动承载体夹具托盘10分别在X方向、Y方向步进移动的X方向步进移动装置、Y方向步进移动装置，X方向步进移动装置、Y方向步进移动装置通过支撑架5连接在底版3上，与真空室连接的固定支撑架21上连接有被调频体频率探测装置，被调频体频率探测装置位于夹具托盘10上的夹具16上方，夹具16下方设有蒸发盒8与蒸发电极7构成的银蒸发装置；

所述X方向步进移动装置，由X方向电机4连接带动X方向同步带17，X方向同步带17连接带动X方向滑块6在X方向直线导轨31上运动，Y方向步进移动装置固定在X方向滑块6，X方向滑块6带动Y方向步进移动装置沿X方向移动；

所述Y方向步进移动装置，由Y方向电机2连接带动Y方向同步带18移动，Y方向同步带18连接带动Y方向滑块9在Y方向直线导轨1上运动，承载体夹具托盘10固定在Y方向滑块9上，Y方向滑块9带动承载体夹具托盘10沿Y方向移动；

所述被调频体频率探测装置连接在固定支撑架21上，固定支撑架21连接电机支撑座28，电机支撑座28上设有电机11，电机11连接带动凸轮30与探针骨架12活动连接，电机支撑座28上固定有直线轴13，探针骨架12的套孔沿直线轴13移动、与直线轴13活动连接，直线轴13外与探针骨架12之间套有直线轴承29，探针骨架12的两端分别设有探针14，探针14对应蒸发帽眼15位置。

本实用新型的XY轴直线型真空调频机，所有电气元件只通过两个线路版与真空室外连接，省去许多密封与机械结构；两个电机一个作用于X轴的运动，一个作用于Y轴运动，使承载体夹具托盘在一个平面上作X、Y方向运动，无论是时间和空间都有很大程度上的缩小，在单位面积下得到更多的利用空间，设计的夹具托盘可承载200个被调频体，真空室内可放置两个夹具托盘，采用双路调频，这样一个调频周期(15分钟)可调400个被调频体，大大的提高了此工序的工作效率；测试被调频体的接触方式改为通过控制电机带动凸轮，使滑块上下直线运动，在滑块上固定两组弹簧探针，上下运动接触被调频体，测量被调频体频率，此种方式运动速度快，测量准确。

四、附图说明：

附图1：原有调频机结构示意图；

附图2：原有调频机调频圈结构示意图；

附图3：本实用新型XY轴直线型真空调频机结构示意图；

附图4：图3的侧视图；

附图5：被调频体频率探测装置结构示意图；

附图6：图5的侧视图；

附图7：图5的附视图。