[实用新型]一种可抑制化学气相沉积预反应的进气蓬头

权利要求书

1.一种可抑制化学气相沉积预反应的进气蓬头，包括一本体[4]，所述本体上设置有喷气口[5]，本体边缘处设有冷却水入水口[11]和出水口[12]，其特征在于：所述本体内设有冷却水容腔[10]，本体底面均布有至少4条径向设置的由复数个喷气口[5]组成的气道，对应于每一气道上方设有一个覆盖喷气口的罩体[6]，对应每一罩体在本体顶面设有入气口[3]，入气口经进气管连通至罩体与气道间的空腔内，构成入气通道；所述本体顶面对应于入水口[11]与出水口[12]分别设有与冷却水容腔连通的进水管[2]及出水管[8]，构成冷却水通道。

2.根据权利要求1所述的可抑制化学气相沉积预反应的进气蓬头，其特征在于：所述本体底面上均布有8条径向设置的气道，每一气道由密布的复数个喷气口构成。

3.根据权利要求1所述的可抑制化学气相沉积预反应的进气蓬头，其特征在于：还包括一设置于本体[1]上表面的上盖板[1]，各入气管、进水管[2]与出水管均穿透上盖板，上盖板与本体之间经沿其边缘布置的紧固件连接。