[实用新型]激光精密加工的匀光系统无效
申请号: | 200720034954.X | 申请日: | 2007-03-02 |
公开(公告)号: | CN201020601Y | 公开(公告)日: | 2008-02-13 |
发明(设计)人: | 赵裕兴;徐海宾 | 申请(专利权)人: | 苏州德龙激光有限公司 |
主分类号: | B23K26/06 | 分类号: | B23K26/06;B23K26/067;B23K26/073 |
代理公司: | 南京苏科专利代理有限责任公司 | 代理人: | 陈忠辉 |
地址: | 215021江苏*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 激光 精密 加工 系统 | ||
1.激光精密加工的匀光系统,包括激光器、分光组件、扩束镜和聚焦镜,分光组件设置在激光器和扩束镜之间,聚焦镜安装在扩束镜的出光口,其特征在于:所述激光器为355nm的紫外激光器,所述分光组件由两片平行放置的独立反射镜片组成,两个独立反射镜的夹持装置具有轴向旋转微调机构,使在X-Y平面分离光斑以一定的间距对称分布并且该对称轴与X轴成45度夹角。
2.根据权利要求1所述的激光精密加工的匀光系统,其特征在于:在激光器出射口设有光阑。
3.根据权利要求1所述的激光精密加工的匀光系统,其特征在于:所述分光组件沿反射镜面方向设有精密调节装置。
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